自動搬送式現像装置 ACT-300A2S
コンパクトな自動搬送式の現像装置です。
基本情報
処理能力 最大６インチ丸基板 ２５枚（専用カセット収納式） プロセス 現像液 ２系統 （ノズル交換可能） リンス １系統 エアーナイフ 1系統 使用薬液類 アルカリ系現像液 脱イオン洗浄水 搬送ロボット タツモ社製 センターリングステージにより基板位置精度出し レシピ １０ステップｘ５０パターン登録可能 処理時間設定 ０．１秒単位 基板回転数 ＡＣサーボモーター制御 ０～３０００ｒｐｍ 精度±２ｒｐｍ以内 装置サイズ Ｗ１１２０×Ｄ９２０×Ｈ１９５０ｍｍ以内 ５００Ｋｇ以下 制御システム ８インチタッチパネル操作 吸着テーブル 白色テフロン製、真空孔吸着型 キャニスター 容量１８Ｌで装置本体とは別置き、残液量はロードセルで検知 現像液制御温度 ２０～３０℃±３℃ ユーティリティ 三相２００Ｖ/３０Ａ 漏電ブレーカー 1系統 真空ポンプ内蔵 エアー ０．５ＭＰａ 窒素 ０．３ＭＰａ 排気 排気口φ７５mm ２系統（電装排気、カップ排気） 現像液廃液 ポリタンク回収又は工場廃液に接続
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取り扱い会社
当社は創業1972年以来、ディスプレイに携わる技術者・研究者を支援してきました。事業根幹である各種ガラス基板及び世界標準のEHCセルを国内外へ製造・販売しています。近年、多様な金属成膜基板及び高精細パターンガラス基板の要求が強まっています。周辺装置として客先仕様の小型液晶パネル組立装置やウェットプロセス装置、さらに有機EL・有機太陽電池の測定検査装置などを専用システムとして、あるいは簡易冶具等も含めて提供しています。
