【実用型マトリクスコンバータ技術】半導体製造装置
電源対策設備不要で盤サイズを削減！電源品質問題を根本から断ち切り半導体製造の歩留まり向上を加速
当社の「実用型マトリクスコンバータ技術」は、半導体製造装置で 電源品質が歩留まりに影響するという悪循環を断ち切ります。 高調波を大幅に抑制するクリーンな電源供給により、半導体製造装置の 微細化で深刻化する電源品質問題から完全に解放。歩留まりを向上させます。 従来の電源フィルタなどの対策設備が不要になることで、盤サイズを大幅に 小型化。クリーンルームの限られたスペースを最大限に活用し、生産効率を 向上させます。 【特長】 ■75kW実用実績 ■力率0.98以上(実測値) ■高周波対策不要 ■小型・軽量設計 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【当社技術がもたらす3つの価値】 ■電源品質問題を根本解消 ■電源対策設備が不要に ■微細化装置ほど効果を発揮 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【このような課題に】 ■半導体製造装置の微細化に伴い電源品質が歩留まりを阻害する ■ノイズ対策設備で盤がさらに肥大化し、クリーンルームスペースが圧迫される ■電源品質問題のために必要な最先端装置の導入を諦めざるを得ない ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
カタログ（1）
カタログをまとめてダウンロード
おすすめ製品
取り扱い会社
「自動制御で産業界に貢献する」を経営理念に、アドテックスのコア技術 １.高精度自動制御 ２.微小信号処理 ３.パワーエレクトロニクス を組み合わせながら、各種産業分野 １.医療機器（メディカルエレクトロニクス） ２.ＦＡ機器（ファクトリーオートメーション） ３.半導体関連機器等 で、多くのお客様や産学官との共同開発、そして医工連携を積極的に 推進し、世の中に新しい価値を創造する研究開発型企業です。