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研究開発用装置 成膜装置・グローブボックス

有機ELデバイス開発などに適した研究開発用装置を紹介します。

当社では、大気にさらすことなく連続処理が可能な 『研究開発用装置 成膜装置・グローブボックス』を設計・製造・販売しております GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉することで不活性雰囲気を保ち、 基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能です。 KOREA KIYON製 不活性ガス循環精製式GBOXは、不活性ガスの雰囲気で 水分、酸素量が1ppm以下に保たれるように設計されています。 各種真空装置との接続により、大気にさらすことなく連続処理が可能です。 【特徴】 [研究用小型真空蒸着装置] ○GBOX内部で試料基板を搬送BOXに収納・密閉し、不活性雰囲気を保ち、  基板を大気に曝す事無く蒸着装置に装着・処理しGBOXに戻すことが可能 [不活性ガス循環精製式GBOX] ○不活性ガスの雰囲気で水分、酸素量が1ppm以下に保たれるように設計 ○各種真空装置との接続により、大気にさらすことなく連続処理が可能

関連リンク - https://als-technology.com/index.html

基本情報

[便利ツール] ○基板洗浄治具 →試料基板の洗浄に。市販ビーカーにも対応 ○キャリアBOX →試料基板・小部品の密閉搬送に最適。内部アダプター交換可能 ○基板測定治具 →デバイス形状に合わせコンタクト。デバイス基板の密閉測定に ○蒸発源 →各種材料に対応した蒸発源を用意 ○真空プローパー →デバイス基板の真空測定・評価に。搬送BOXにも対応 ○GBOXプローパー →GBOX内部でのデバイス基板の測定・評価に。外部モニター付 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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取り扱い会社

弊社は大学研究室や一般企業の研究室にてご使用いただく研究用の真空機器を 製造販売する会社として、顧客満足度の高い装置をご提供するべく設立いたしました。 私達がこれまでに蓄積してきた真空技術の設計技術、薄膜プロセス技術等を十分に生かし、 ご使用になる研究者の皆様の立場から最適な装置を設計製造させて頂きます。 真空装置はその特性から、家庭電化製品等の一般消費財と比較して高価な製品です。 信頼性の高い高品質な装置・部品を皆様に安くご提供するために以下の努力をいたします。 ●すべての真空装置はお客様の御仕様を元に、十分な意見交換をさせていただいた後、最適な設計を行います。 ●1つの真空部品から、高性能真空装置まで幅広く取り扱い、皆様のニーズに幅広く対応いたします。 ●積極的にリサーチを行い、より良い真空部品をグローバルな視点で集め、装置に利用いたします。 ●お客様がお持ちの真空装置を有効活用するため、改造のご相談、製作に高度な技術が必要となる真空部品・装置の製作をお手伝いします。 ●ご予算に合わせ、中古装置の改造、中古ユニットの使用等により、性能を維持しかつ価格低減を図ります。

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