6-Dメカニカルステージ
6-Dクオリティで最高級のメカニカルステージ
基本情報
Hybrid Hexapodシリーズ ・可動軸:XーYーZーΘーTilt XーTilt Yの自由曲線 ・X-Yストローク:60ー30mm ・Zストローク:6ー10mm ・Θストローク:360° ・Tilt X - Tilt Yストローク:±3ー±18° ・分解能:直動: 5nm, 角度: <0.04秒 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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■レーザー機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■電気機器・電子機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■光学機器並びにその応用装置と部品の販売並びに輸出入業務 ■医療・理化学・測定機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■接着剤・接着テープ・接着シート・並びにその機器・装置の製造販売並びに輸出入業務 ■前各号に付帯する一切の業務