ALIO Industries ヘキサポッドステージ
ALIO社が±30°の傾き可能なハイブリッドヘキサポッド！360°回転も可能！ 高剛性長ストロークヘキサポッドステージ
ALIO Industries社のパテントテクノロジー。 パラレルキネマティックの自由度とシリアルキネマティックの精度・剛性を融合した新しいタイプのヘキサポッド "Hybrid Hexapod"。 その大きな特徴は長ストロークのヘキサポッドながら、スタンダードでも、±80nmの繰り返し精度を達成している点にあります。 従来のシステムに対して、コンパクト・高剛性・長ストローク・高精度という、大きなアドバンテージを持ち、精密加工・精密アライメント等のアプリケーションで全く新しいシステムデザインを可能にしております。
基本情報
■長ストロークのパラレルキネマティック 技術的にはメーターストロークのXYが可能(スタンダードでも400mm)。Z: <205mm, θx, θy:<40°, θz: 360°のストロークを誇るTrue nanoステージ。組み合わせで小型タイプから大型タイプまでラインナップ。 ■ユーザーフレンドリーなコントローラーメソッド キネマティックな演算をコントローラーに埋め込んでいる為、ユーザーは座標制御でコントロールが可能。起動中に回転軸(TCP)をソフトウエアから任意の座標に設定可能、これにより動作を止めることなく、自由度の高い動作が可能。 ■高性能モーター/光学エンコーダー採用 欧米製の一流メーカー品の採用で精度だけでなく、高い信頼性を実現。MTBF>100,000h。 ■様々なステージとダイレクトアッセンブリー可能。 400種を超えるステージとアダプタープレートを介さずにダイレクトに取り付けることが可能です。6D Point Precision準拠の多軸ステージシステムとなります。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格情報
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納期
用途／実績例
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詳細情報
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2周波縦モード安定化ゼーマンレーザーと測定原理について He-Neレーザーに縦磁場をかけることで、ゼーマン効果を起こして２周波縦モードのレーザーを発振し、干渉測定では高い精度と再現性を実現できます。また2周波のビームは、干渉計内で測定用反射鏡の移動によるドップラーシフトを起こし、検知信号と基準信号の差で物体の移動速度を知ることができます。そして時間との積をプロセッサーで計算すると、瞬間で位置データを正確に測ることができます。またこのゼーマンレーザー干渉計は２MHzで参照光と測定光を分離している為、ターゲットが停止時はちょうど２MHz、ターゲットが移動すると周波数が変わるヘテロダイン方式を利用しており、非常に正確に測定できます。このゼーマンレーザー干渉計の利点としては１．レーザーリファレンスの周波数が正確、２．ヘテロダイン技術により２MHzで動作でき、低周波のノイズを除去することができます。
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干渉計用光学部品として 様々なアプリケーションに対して、線形干渉計、平面鏡干渉計、微分干渉計、シングルビーム干渉計、角度干渉計、真直度干渉計などの光学系を多数ご用意しています。また、真空対応の干渉計、ビームベンダー、ビームスプリッターも用意しています。
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豊富な測定アクセサリー 回転、振動、振れ測定などをより正確にするXYレーザー位置センサーは、反射率や色に関係なく、物体の表面のわずかな変化やZ方向の動きを測定します。 レベルメーターは0.1秒角の感度で物体の水平面からの傾きを測定します。 また、レーザー波長補正用にウエザーステーション（温度、相対湿度、気圧をリアルタイムで測定）や、屈折率計があります。オプションのCNC加工機の校正ツールで加工精度の維持や向上ができます。
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