Symetrie ヘキサポッドステージ BORA
小型高精度ヘキサポッドステージ BORA
基本情報
XYストローク±20mm Zストローク±10mm チルト<±10° 回転(ZΘ)±15° 繰り返し精度(XYZ)±0.4μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)±3.2μrad サイズφ210mm 高さ(Z中間地点)145mm 開口φ36mm 耐荷重10kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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