Symetrie ヘキサポッドステージ SOLANO
小型高精度ヘキサポッドステージ SOLANO
基本情報
XYストローク±18mm Zストローク±6.5mm チルト<±10° 回転(ZΘ)±21° 繰り返し精度(XYZ)±0.25μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)±4μrad サイズφ120mm 高さ(Z中間地点)104mm 開口φ32mm 耐荷重5kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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