Symetrie ヘキサポッド ステージ MAUKA
小径高精度ヘキサポッドステージ MAUKA
基本情報
XYストローク ±5mm Zストローク ±10mm チルト <±8° 回転(ZΘ) ±8° 繰り返し精度(XYZ) ±0.5μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±5μrad サイズ φ107mm 高さ(Z中間地点)198mm 開口φ30mm 耐荷重 5kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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