Symetrie ヘキサポッド ステージ ZONDA
高耐荷重高精度ヘキサポッドステージ ZONDA
ZONDAは、高精度、安定性、精度、重荷重、大きな移動距離の両方を必要とする用途に応える新しい高性能 6DOF システムです。 最大 400 kg のペイロードをわずか 0.1 µm の分解能で位置決めできるように設計された ZONDA ヘキサポッドは、XY で 400 mm、Z で 300 mm、および Rx、Ry、Rz の 3 つの回転で 40 ° の優れた移動距離を提供します。 熱膨張係数 を備えた統合されたインバーコンポーネント、アクチュエータに標準として統合されたリニア アブソリュートエンコーダ、および特に剛性の高いジョイントの設計により、比類のない精度と熱安定性特性を備えています。 縦、横、逆さまなど、どの向きでも使用できます。
基本情報
XYストローク ±50mm/±200mm(長ストロークモデル) Zストローク ±25mm/±150mm(長ストロークモデル) チルト <±10°/±20°(長ストロークモデル) 回転(ZΘ) ±20° 繰り返し精度(XYZ) ±0.25μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±2.5μrad/±1μrad(長ストロークモデル) サイズ φ320mm 高さ(Z中間地点)360mm/φ720mm 高さ(Z中間地点)640mm(長ストロークモデル) 耐荷重 400kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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■レーザー機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■電気機器・電子機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■光学機器並びにその応用装置と部品の販売並びに輸出入業務 ■医療・理化学・測定機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■接着剤・接着テープ・接着シート・並びにその機器・装置の製造販売並びに輸出入業務 ■前各号に付帯する一切の業務
