Symetrie ヘキサポッド ステージ KUBAN
高安定高精度ヘキサポッドステージ KUBAN
基本情報
XYストローク ±75mm Zストローク ±45mm チルト <±5° 回転(ZΘ) ±10° 繰り返し精度(XYZ) XY±0.2μm Z±0.1μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) RxRy±2.5μrad Rz±4μrad サイズ φ450mm 高さ(Z中間地点)600mm 開口φ200mm 耐荷重 500kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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取り扱い会社
■レーザー機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■電気機器・電子機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■光学機器並びにその応用装置と部品の販売並びに輸出入業務 ■医療・理化学・測定機器並びにその応用装置と部品の製造販売並びに輸出入業務 ■接着剤・接着テープ・接着シート・並びにその機器・装置の製造販売並びに輸出入業務 ■前各号に付帯する一切の業務
