Symetrie ヘキサポッド ステージ SURES
500kg耐荷重のヘキサポッドステージ SURES
基本情報
XYストローク ±8mm Zストローク ±6mm チルト <±1° 回転(ZΘ) ±1° 繰り返し精度(XY) ±0.25μm 繰り返し精度(Z) ±0.13μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz) ±0.5μrad サイズ φ690mm 高さ(Z中間地点)360mm 耐荷重 500kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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