Druck TERPS:半導体産業を支える革新的な真空圧力測定技術

日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
TERPSの概要と特徴 •高精度・高安定性: 精度は±0.01%FS、長期安定性は年間で0.01%FS未満を達成し、温度感度も多点補償により大幅に低減可能です。 •広範な測定レンジ: 真空用途においては、中真空から大気圧まで、一般的に使用されるレンジをカバーできます。10Paから大気圧までの連続測定レンジを提供します。 •優れた直線性: 低圧域でも非常に優れた直線性を示し、1Pa〜1000Paの範囲で正/負のオフセット量が21〜23Paに安定しています。 •低ヒステリシス: 単結晶シリコン共振ビームは0〜100Paの範囲でヒステリシスがほぼ無視でき、極低圧領域でも高い安定性と信頼性を発揮します。 •堅牢な動作温度範囲: 動作温度は最大-55℃〜125℃に対応します。 •高い媒体適合性: 測定媒体に応じて、シリコン素子直接露出タイプ、316Lステンレス鋼隔離ダイアフラム、またはHastelloy C276仕様を選択可能です。 •容易なシステム統合: 周波数出力またはデジタル出力(RS232/RS485, CANBus, USB)に対応しており、システム統合が容易です。

関連資料
関連リンク
Druck TERPS 圧力センサー