株式会社ベテル 本社・工場、東京オフィス、ハドソン研究所、ベトナム工場 公式サイト

【測定事例】<半導体材料>Siウェハの熱伝導率測定【TA】

半導体材料「Siウェハの熱物性」を熱拡散率を測定!

半導体の材料にはかかせない「Siウェハ」の熱拡散率が測定できます。

関連リンク - http://blog.thermal-measurement.info/archives/5171…

基本情報

半導体の材料にはかかせない「Siウェハ」の熱拡散率が測定できます。 弊社で独自に入手したSiウェハの測定をご紹介します。 測定したのは下記の5種類。 それぞれp型/n型、ドープ量などが違うものです。  1.ケイ素<0.02Ωcm/P,Low,100  2.ケイ素>1000Ωcm/P,High,111  3.ケイ素<0.02Ωcm/N,Low,100  4.ケイ素<0.02Ωcm/N,Low,111  5.ケイ素>1000Ωcm/N,High,111 当社のサーモウエーブアナライザーTAで測定しますと、 熱伝導率(熱拡散率)  1.約120W/mK(74mm2/s)  2.約140W/mK(87mm2/s)  3.約120W/mK(76mm2/s)  4.約120W/mK(75mm2/s)  5.約140W/mK(87mm2/s)    *熱伝導率は熱拡散率の測定値と比熱と密度の文献値から計算。 熱伝導率的には、p型/n型でそう大きな差はないようです。 High、lowでは差が出るようですが。 詳細はお問合せください。

価格情報

***** 数量・測定の難易度によって価格が変動しますので、詳細はお問合せください。

納期

詳細はお問い合わせください

数量によって納期が変動しますので、詳細はお問合せください。

型番・ブランド名

依頼測定(TA)

用途/実績例

半導体材料開発

関連動画

【会社案内】光と熱と安全・安心/株式会社ベテル

会社紹介資料

熱と光で不可能を可能に ハドソン研究所

会社紹介資料

熱拡散率熱伝導率を測定! 有機フィルム~ダイヤモンドまでのワイドレンジに対応!

技術資料・事例集

この製品に関するニュース(4)

取り扱い会社

長年培った組立技術を生かし、精密部品組立、熱物性測定装置の開発と受託測定、クリーンルームを備えてた医療・歯科系プラスチック製品開発と、事業分野を拡大して参りました。 「オリジナル商品」を独自のモノづくり視点から深化・融合させ、ノウハウと技術を結集しています。ベテルだからこそ持つ「スピーディーな決断と実行」を武器に、「Made by BETHEL」の高品質商品を提供しています。 ベテル製品を使っていただくお客様が、ベテルの製品、製造、サービスに満足し、この会社に任せて良かったと感じていただくこと。 また、お客様の満足によって、働く従業員一人一人が幸せになることがベテルの願いです。

おすすめ製品