【測定事例】 熱で金属薄膜の厚みを評価する 【TM】
熱物性を測定することで、薄膜の厚みが評価できます！
基本情報
薄膜の厚みを評価する場合、当社では、表面粗さ計を用い評価を行っていますが、 表面粗さ計を用いた場合、薄膜を成膜する基板に何らかのマスクを施し、 成膜されていない部分を作って、成膜部分との段差を調べます。 透明な薄膜の場合、光の干渉を用いて測定も可能ですが、 不透明な膜の場合は表面粗さ計を使うか断面顕微鏡で観察する方法が一般的と思います。 さて、当社の熱物性顕微鏡TM3は、熱浸透率や熱伝導率を測定する装置ですが、 薄膜の厚みによっても測定結果が変わってきます。 単位の中に距離が入ってくるので当然といえば当然ですが・・・・ 実験では、ホウ珪酸ガラス上に成膜されたＭｏ薄膜を測定しました。 厚みは50nm～130nmの範囲で測定して測定値の変化が得られており、 数十nmの分解能で厚みの変化が評価できそうです。 空間分解能はレーザスポット径である3μmとほぼ同等と考えられ、 従来方法にはない特徴を持っています。
価格情報
***** 数量・難易度により変動しますので、詳細はお問合せください。
納期
型番・ブランド名
サーマルマイクロスコープTM3
用途／実績例
半導体用酸化シリコン膜の相対厚み評価 スパッタ金属薄膜の相対厚み評価
取り扱い会社
長年培った組立技術を生かし、精密部品組立、熱物性測定装置の開発と受託測定、クリーンルームを備えてた医療・歯科系プラスチック製品開発と、事業分野を拡大して参りました。 「オリジナル商品」を独自のモノづくり視点から深化・融合させ、ノウハウと技術を結集しています。ベテルだからこそ持つ「スピーディーな決断と実行」を武器に、「Made by BETHEL」の高品質商品を提供しています。 ベテル製品を使っていただくお客様が、ベテルの製品、製造、サービスに満足し、この会社に任せて良かったと感じていただくこと。 また、お客様の満足によって、働く従業員一人一人が幸せになることがベテルの願いです。
