シリコン中の不純物分析におけるふっ酸、硝酸を用いた分解の検討
ふっ酸ガスの人への曝露を最小限に抑え作業環境を改善！作業時間短縮にも貢献
当技術資料は、酸添加等自動前処理装置「DEENA」を用いて 半導体等原料のシリコン分解（溶融）における、ふっ化水素酸・ 硝酸を用いた自動前処理について考察しています。 半導体原料等におけるシリコン（金属シリコン、Si 単体）の含有成分や 不純物分析を行う際には、ふっ化水素酸を用いることが多くあります。 しかし、ふっ化水素酸とシリコンとは、非常に反応性が高く、フッ化水素酸を ごく少量ずつ、反応性に注意しながら添加する必要があり、その際、ふっ酸の ガスが多量に排出されるため、人への曝露にも注意が必要となります。 そこで、酸添加、撹拌、メスアップ等作業をPC制御にて全自動で行うことができる DEENAを用いて、半導体等原料のシリコン分解（溶融）における、ふっ化水素酸 ・硝酸を用いた自動前処理を検討しました。 【掲載内容】 ■目的 ■概要 ■使用試薬 ■分析フロー 他 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【使用装置の基本性能】 ＜DEENA60 本体＞ ■試薬等の自動添加（最大8種類の試薬が搭載可能） ■シェーカーによる撹拌 ■ホットプレートによる加熱 ■放冷 ■内部標準液やスタンダード等の自動添加 ■超音波高さセンサーを用いたメスアップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
連続流れ分析装置の世界的パイオニア、旧テクニコン社が開発したオートアナライザーは、今日でも世界中の分析現場で広く使用されています。我が国日本においても、国立・公立の研究所・試験所、また企業の工場・試験所等で必要不可欠な装置として稼働を続けております。 私どもビーエルテック株式会社は、国内における約４０年のオートアナライザー事業を継承し、さらに現在のホットな需要にお応えするべく、最適な連続流れ分析装置の開発製造に力を入れております。
