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多段ルーツ真空ポンプ TORRI ファミリー

ロードロックチャンバーの排気向けの真空ポンプ。クラス最高レベルの排気速度を誇る製品です!

【製品説明】 多段ルーツ真空ポンプのTORRIシリーズは、ロードロックチャンバーの排気のためのコンパクトでエネルギー効率に優れたソリューションです。 優れた到達真空度と最短クラスのチャンバーの排気時間が特徴です。 【特長】 ■ フレキシブル  ロードロックチャンバー向けとしては極めて短い排気時間 ■ 高効率  省エネ、最小限のメンテナンス、優れたアップタイム ■ コンパクト  非常に小型で軽量 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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基本情報

■ 設計排気速度 100 ~ 600 m3/h ■ 到達真空度 0.01 ~ 0.001 hPa (mbar) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格情報

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納期

型番・ブランド名

TORRI

用途/実績例

ロードロックチャンバーの排気

ラインアップ(3)

型番 概要
TORRI BD 0100 A 設計排気速度:100 m3/h、到達真空度:0.01hPa、到達真空度における消費電力:0.4 kW 、外形寸法(L×W×H):450 × 230 × 275 mm
TORRI BD 0300 A 設計排気速度:300 m3/h、到達真空度:0.001hPa、到達真空度における消費電力:0.5 kW 、外形寸法(L×W×H):530 × 230 × 520 mm
TORRI BD 0600 A 設計排気速度:600 m3/h、到達真空度:0.001hPa、到達真空度における消費電力:0.6 kW 、外形寸法(L×W×H):530 × 230 × 520 mm

多段ルーツ真空ポンプ TORRI BD 0100 -0600 A

製品カタログ

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取り扱い会社

【真空ソリューションのワンストップショップ】 ブッシュグループは世界最大級の真空ポンプ、真空システムメーカーです。ドライ真空ポンプ、油回転真空ポンプともに多様なメカニズムの製品を揃え、幅広くサイズ展開しています。高真空を得意とする真空ポンプメーカー「ファイファー・バキューム」、ガス除害装置メーカー「セントロサーム・クリーン・ソリューション」をグループ傘下に持ちます。世界の幅広い産業界で積み重ねたノウハウで、真空システム設計や導入後のサービスも含め、お客様のアプリケーションに合わせた真空ソリューションを提供しております。 【グローバルおよび国内展開】 世界45ヵ国に現地法人を戦略的に配置しております。ビジネスをグローバル展開するお客様を、現地でもサポート可能です。 国内でも1981年の日本法人設立以来、日本に根差した経営に努めてまいりました。設立間もない1985年には神奈川県平塚市にサービス拠点兼物流倉庫を構え、2004年には本社ビルに統合して拡充を図ったのもその一環です。現在ではサービス拠点も拡充を続け、日本全国のお客様をサポートする体制を整えています。

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