【半導体検査向け】CMXシリーズ
ウエハーの外観・内面検査に好適なFA用マイクロスコープユニット
半導体業界における検査工程では、ウエハーの微細な欠陥や異物の検出が、製品の品質と歩留まりを左右する重要な課題です。特に、製造プロセスの高度化に伴い、より高い精度での検査が求められています。CMXシリーズは、可視光から短波赤外域まで幅広い波長に対応し、ウエハーの外観・内面検査において、高精度な画像取得を可能にします。 【活用シーン】 ・ウエハーの外観検査 ・ウエハー内面の異物検査 ・半導体デバイスの品質管理 【導入の効果】 ・高精度な検査による品質向上 ・歩留まりの改善 ・検査時間の短縮
基本情報
【特長】 ・高NA対物レンズのリアルな顕微鏡画像の描写を実現 ・バックフォーカス調整機構付き(調整範囲±2.5) ・各社対物レンズも取り付け可能 ・同軸落射式照明を標準搭載 【当社の強み】 当社は、顕微鏡・医療用光学機器・精密光学レンズ系の設計製造を行っております。光学技術、機械技術の質の高さ、お客様のニーズに合わせたフレキシブルな受注生産に応え、100年以上の光学技術をベースに多くのお客様が飛躍、発展するよう無限の可能性を求め、お役に立てる企業を目指しております。
価格帯
納期
型番・ブランド名
マイクロスコープユニット『CMXシリーズ』
用途／実績例
※詳しくはカタログをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| CMX05シリーズ | CMX10シリーズ |
| CMX10-3シリーズ |
