【半導体向け】SilcoTekコーティングで高純度環境を維持
PFASフリー・1μmの被膜で、半導体製造の腐食問題を解決。
半導体業界では、高純度な環境が製品の品質を左右します。薬液やガスによる金属部品の腐食は、コンタミネーションを引き起こし、歩留まりの低下や製品の性能劣化につながる可能性があります。SilcoTekコーティングは、1～2.4μm程度の膜厚で、金属表面を保護し、腐食を抑制します。これにより、部品の交換頻度を減らし、安定した製造プロセスを実現します。 【活用シーン】 ・高純度ガス供給配管 ・薬液供給ライン ・反応チャンバー内部品 【導入の効果】 ・コンタミネーションのリスク低減 ・部品寿命の延長 ・材料コストの削減
基本情報
【特長】 ・1～2.4μmの均一な膜厚 ・強酸、強アルカリ環境への対応 ・FDAグレードのラインナップ ・ニッケル合金以上の耐食性 ・PFASフリー 【当社の強み】 CHIYODAは、ものづくりを支える幅広い商品ラインナップと、お客様の課題解決に貢献する提案力で、半導体製造における最適なソリューションを提供します。
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