【半導体製造装置向け】特殊セラミック部品
エッチング・CVD工程に。高い熱伝導率と耐プラズマ性を提供
半導体製造装置業界では、高温環境下での部品の耐久性が求められます。特に、エッチング工程やCVD工程においては、高い熱負荷に耐え、かつ異物発生を抑制することが重要です。当社の特殊セラミック部品は、これらの課題に対応し、装置の安定稼働に貢献します。 【活用シーン】 ・エッチング工程 ・CVD工程 ・半導体製造装置内部の耐熱部品 【導入の効果】 ・高い熱伝導率による温度管理の最適化 ・耐プラズマ性による部品の長寿命化 ・異物発生の抑制による歩留まり向上
基本情報
【特長】 ・窒化アルミ：最高220W/m・Kの熱伝導率、最大φ500のプレート ・イットリア：高い耐プラズマ性、焼結材と溶射材をラインナップ ・窒化アルミ：エッチング工程、CVD工程向け ・イットリア：φ330までの焼結材部品を提供可能 ・溶射時の高い密着性によりパーティクル低減に貢献 【当社の強み】 CHIYODAは、ものづくりに貢献できる商品ラインナップを提供しています。お客様のニーズに合わせた最適な製品をご提案します。
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