【半導体向け】ケミカルポンプ修理
全工程クリーンルーム対応！薬液供給の安定稼働をサポート
半導体業界の薬液供給用途では、製品の品質維持のため、ポンプの安定稼働が不可欠です。薬液の漏れや異物混入は、製品不良につながる可能性があります。当社ケミカルポンプ修理サービスは、全工程をクリーンルーム内で実施し、ポンプの安定稼働をサポートします。 【活用シーン】 ・薬液供給ラインにおけるポンプのオーバーホール ・ポンプの故障修理 ・ポンプの機体改善延命対策 【導入の効果】 ・製品品質の維持 ・設備信頼性の向上 ・コスト削減
基本情報
【特長】 ・全工程をクリーンルーム内で実施 ・実使用環境を想定した動作確認試験 ・SOPに基づく機体機能確認 ・残留金属質量の測定 ・納入後6か月間の修理保証 【当社の強み】 CHIYODAにはものづくりに欠かすことのできない装置部材から修理サービス、環境貢献商品まで、製造業のお客さまであれば、必ずなんらかの形で貢献できる商品ラインナップがあります。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■洗浄装置 ■エッチング装置 ■CMP装置めっき装置 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
