【採用事例：エレクトロニクス・半導体分野】ジルコニア式酸素濃度計
エレクトロニクス、工業、医療と幅広い分野で活躍。採用された事例をピックアップして事例集にしました。
エレクトロニクス・半導体業界は、製品化されるまでに様々なプロセスがあり、そのプロセス内での雰囲気管理や酸化防止を目的として当社酸素計が使用されています。微量酸素(ppm)の測定が主流となります。 例えば半導体製造装置やはんだ付けのリフロー炉、真空熱処理炉等で幅広く御使用頂いております。 サンプルガス条件に応じて機器選定させて頂きますのでご相談下さい。 対象機種：TB-IIF シリーズ、TB-IIV(N) シリーズ、EZYシリーズ ※ほかにも活躍している業種は多種多様です。一度採用事例集、用途別一覧表をダウンロードの上、ご相談下さい。
基本情報
【ジルコニア式酸素計で解決できること】 ○酸素濃度測定により雰囲気管理をして品質向上を目指したい ○真空中の酸素濃度を測定したい ○燃焼管理をして燃料コストを減らしたい ○PSA、ガス製造装置等クリーンガスの濃度管理をしたい 【特徴】 ○検出部に安定化ジルコニアセラミックを使用したO2センサー ○ジルコニアセンサーは何重にも保護されており、ダストや腐食性ガスのアタックに強い構造 ○測定する条件に応じて適したアクセサリを用意 ○ppmO2レベルから100%O2までの幅広いレンジに対応 ○真空対応品では1×10-3Pa（1×10-5Torr）の減圧下でのO2分圧測定が可能 〇熱処理炉内等の酸化・還元の雰囲気測定及び管理が可能(-O2%、CO+H2、mVレンジ) ○シンプルな構造の為、メンテナンスが容易 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
価格情報
測定条件に応じて機器選定させて頂きますのでお問い合わせ下さい。
納期
用途／実績例
半導体製造装置：拡散炉・CVD等 ハンダ関連装置：N2リフロー炉、ディップ炉等
