【採用事例：エレクトロニクス・半導体分野】ジルコニア式酸素濃度計
エレクトロニクス、工業、医療と幅広い分野で活躍。採用された事例をピックアップして事例集にしました。
基本情報
【ジルコニア式酸素計で解決できること】 ○酸素濃度測定により雰囲気管理をして品質向上を目指したい ○真空中の酸素濃度を測定したい ○燃焼管理をして燃料コストを減らしたい ○PSA、ガス製造装置等クリーンガスの濃度管理をしたい 【特徴】 ○検出部に安定化ジルコニアセラミックを使用したO2センサー ○ジルコニアセンサーは何重にも保護されており、ダストや腐食性ガスのアタックに強い構造 ○測定する条件に応じて適したアクセサリを用意 ○ppmO2レベルから100%O2までの幅広いレンジに対応 ○真空対応品では1×10-3Pa（1×10-5Torr）の減圧下でのO2分圧測定が可能 〇熱処理炉内等の酸化・還元の雰囲気測定及び管理が可能(-O2%、CO+H2、mVレンジ) ○シンプルな構造の為、メンテナンスが容易 ※詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
価格情報
測定条件に応じて機器選定させて頂きますのでお問い合わせ下さい。
納期
用途／実績例
半導体製造装置：拡散炉・CVD等 ハンダ関連装置：N2リフロー炉、ディップ炉等
