リフトオフ装置 ※テスト可能機種あり
枚葉式・バッチ式のラインナップから、各工程及び仕様を選択し装置をカスタマイズ致します
ダルトンのリフトオフ装置は６種のラインナップと６種類のオプションを有し、用途やウエハーの性質に合わせて使用をご選定頂けます 【ラインナップ】 ・HU型（量産向け）…バッチ、枚葉の併用仕様。より早く、確実な仕上がり ・HM型（研究開発・量産向け）…Jet処理のみで剥離が可能なウエハーに好適 ・CHU型（研究開発向け）…HU型の特長を受け継ぎながら、コンパクト化を実現 ・MJ型（研究開発向け）…Jetチャンバーのみを有し、ウエハー投入・排出は手動操作 ・SL型（量産向け）…ディップ槽のみでリフトオフ処理を行なうシャワードレン式リフトオフ装置 ・ML型（研究開発・量産向け）…SL型からローダー、搬送機、アンローダーを削除した装置 上記６種類のラインナップに、５種類のオプションをつけられます。 オプションの詳細は、下へスクロールしご覧ください 当社東京テストセンターにて、テストを実施頂けます。 ※詳しくはカタログをダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください
基本情報
【オプション】 ・Suffix System…剥離層の超音波の効率を向上 ・DoM Jet System…液中高圧Jet機能とクイックダンプ機能でHU型、SL型、ML型の機能を向上 ・USF System…大量のスラッジを高効率に回収するシステム。ISF Systemとの併用も可 ・ISF System…剥離層で出るスラッジを分離、改修するインラインスラッジ除去装置 ・新Jetチャンバー機能…チャンバ―内に付着したスラッジの自動クリーニングシステム ※詳しくはカタログをダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
LED製造工程、レーザー製造工程、光デバイス製造工程等
