ウエハー洗浄装置（バッチ式）※テスト可能機種あり
ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。
ウェットエッチングならではの低コスト、高生産性を実現します ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です 【特長】 ■全自動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■手動酸・アルカリエッチング（洗浄）装置 ■RCA洗浄装置 ■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプにも対応できます ■キャリアレス搬送式、キャリア搬送式、キャリアハンガー搬送式等、コストに合わせてお選びいただけます ■前後装置との受け渡し機構や外部通信機能の追加が可能 ■自動扉や自動蓋、自動薬液供給、秤量、回収装置を装備可能 ■エッチング液の濃度管理機構の装備が可能。対象薬液はご相談ください（例：TMAH、KOH、HF、HCLなど） ■出荷前検査としてエッチング処理槽内の温度分布の計測が可能 ■上下揺動機構の他、ウエハー回転機構の追加が可能 ※当社の東京テストセンター（墨田区）にて、テストを実施頂けます。（オンライン対応可） ※詳しくはカタログをダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【カスタマイズ可な機能】 ○漏洩センサー ○排気圧センサー ○非常停止スイッチ ○一時停止スイッチ（自動メカ付） ○扉センサー（自動メカ付） ○圧力スイッチ ○温度センサー（恒温度仕様） ○自動消火システム（有機用） ○パトライト ○網入りガラス又は強化ガラス（有機用） ○爆圧ハッチ（有機用） ○各種インターロック 等 ※装置により一部機器は取付できない場合もございます 。
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造工程、電子材料製造工程、等
