レジスト剥離洗浄装置 ※テスト可能機種あり
循環方式が多彩なウェットプロセス洗浄装置
・多彩な揺動機構を準備しています。手動タイプから全自動タイプまで、仕様やご予算に合わせてご提案します。 【オプション機能】 ○漏洩センサー ○排気圧センサー ○非常停止スイッチ ○一時停止スイッチ（自動メカ付） ○扉センサー（自動メカ付） ○圧力スイッチ ○温度センサー（恒温度仕様） ○自動消火システム ○パトライト ○網入りガラス又は強化ガラス ○爆圧ハッチ ○各種インターロック 等 ※装置により一部機器は取付できない場合もございます ※当社の東京テストセンター（東京都墨田区）にて、テストを実施頂けます。（オンライン対応可） ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください
基本情報
※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
半導体製造工程、電子材料製造工程、等
