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HFEベーパー乾燥装置

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HFEベーパー乾燥装置

安全性を十分考慮した製品

ベーパー発生槽底面の研磨技術と特殊表面加工をしたプレートヒーターを使用することにより、ベーパー発生槽内のHFEを均一に沸騰させ、槽内に均一なベーパーを発生させることができます。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください

製品詳細はこちら（当社ホームページ）

基本情報

【特長】 ■ベーパー発生槽底面の研磨技術と特殊表面加工をしたプレートヒーターを使用することにより、ベーパー発生槽内のHFEを均一に沸騰させ、槽内に均一なベーパーを発生させることができます。 ■各基板の全面に、均一にHFE ベーパーが凝縮する為、全ての基板において均一な乾燥処理を行うことができます。 ■石英槽ですので金属溶質も有りません。

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用途／実績例

半導体製造工程、電子材料製造工程、等

取り扱い会社

株式会社ダルトン
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ダルトングループの活動は、 多様な分野との融合を通じて 社会や人々の生活を支えています。 身近な暮らしのあちこちに、 社会を形づくるさまざまな場所に、 数年後、数十年後、さらにその先の未来のために―― ダルトングループの製品・サービスが支える 価値創造のフィールドは実に多彩です。 高い技術力と想像力を携えて― 私たちは、常にお客様のニーズの一歩先を見つめ、 豊かな社会づくりに貢献しています。

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