株式会社ダルトンの会社ロゴ画像です 株式会社ダルトン 公式サイト

会社案内PDFをダウンロード お問い合わせ
横型スピンジェット.png

ウエハー洗浄装置（スピン式）※テスト可能機種あり

横型スピンジェット.png
横型スピンジェット.png

ウエハー洗浄装置（スピン式）※テスト可能機種あり

生産規模に応じて複数チャンバーに対応。ウエハーの均一なエッチングを実現します。

自動酸・アルカリ洗浄装置 対応ワークサイズ　φ2～12インチ。角型基板などの特殊サイズもご相談ください 2流体混合ノズルにより直接2種類の原液を使用した洗浄処理を実現。混合比率を調整することにより反応熱で狙いの温度に昇温することが可能 【その他特長】 ■ブラシ洗浄機能付き装置の製作が可能 ■フォトマスク洗浄装置の製作が可能 ■薬液供給、回収ユニットの装置本体組込みが可能 ■オプションでオゾン水洗浄が可能 ■オプションでナノバブル洗浄が可能 当社東京テストセンターにて、テストを実施頂けます。（オンライン対応可） ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください

製品詳細はこちら（当社ホームページ）

基本情報

※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。

価格帯

納期

用途／実績例

半導体製造工程、電子材料製造工程、等

カタログ（3）

カタログをまとめてダウンロード

ウエハー洗浄装置（スピン式）

製品カタログ

このカタログにお問い合わせ

半導体関連装置カタログ

製品カタログ

このカタログにお問い合わせ

テスト機ラインアップ

製品カタログ

このカタログにお問い合わせ

取り扱い会社

株式会社ダルトン
株式会社ダルトン
特設サイト 公式サイト
電話番号・住所

ダルトングループの活動は、 多様な分野との融合を通じて 社会や人々の生活を支えています。 身近な暮らしのあちこちに、 社会を形づくるさまざまな場所に、 数年後、数十年後、さらにその先の未来のために―― ダルトングループの製品・サービスが支える 価値創造のフィールドは実に多彩です。 高い技術力と想像力を携えて― 私たちは、常にお客様のニーズの一歩先を見つめ、 豊かな社会づくりに貢献しています。

製品・サービス一覧 (194)

おすすめ製品

  • 粉粒体機械製品

農業WEEKに出展！ダルトンのペレット堆肥ソリューション

株式会社ダルトン

  • 粉粒体機械製品

食品衛生法対応の振動ふるいについて

株式会社ダルトン

  • 粉粒体機械製品

ポジティブリスト対応の超音波振動ふるい機

株式会社ダルトン

  • 粉粒体機械製品

パウダーテクノロジーの総合ブランドDALTONの振動ふるい

株式会社ダルトン

  • 半導体関連装置

FOUP洗浄装置

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】実験台　木製キャビネットタイプ

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】活性炭ユニット　MYC

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】スクラバーユニット　MYS

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】シンクフード　 MHA

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】制御風速型有機溶剤用ドラフトチャンバー　MFS

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】制御風速型強酸用ドラフトチャンバー　MFR

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】制御風速型過塩素酸用ドラフトチャンバー　MFP

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】制御風速型酸分解用ドラフトチャンバー　MFN

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】制御風速型ウォークインドラフトチャンバー　MFD

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】制御風速型背面スクラバードラフトチャンバー　MFM

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】制御風速型横置スクラバードラフトチャンバー　MFK

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】制御風速型上置スクラバードラフトチャンバー　MFJ

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】制御風速型背面活性炭ドラフトチャンバー　MFH

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】制御風速型横置活性炭ドラフトチャンバー　MFF

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】制御風速型上置活性炭ドラフトチャンバー　MFE

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】制御風速型ドラフトチャンバー　MFA

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】廃液回収装置付シンクフード　MHH

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】低風量型ドラフトチャンバー　MDA

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】実験台　スチールフレームタイプ

株式会社ダルトン

  • 研究・教育施設製品

【研究施設】低風量型パノラマビュードラフトチャンバー　MDB

株式会社ダルトン

  • 半導体関連装置

スピンコーター組込みドラフトチャンバー

株式会社ダルトン

  • 粉粒体機械製品

連続混練機　SCK-100

株式会社ダルトン

  • アイソレータ関連装置

【コンタミ防止】アイソレーションクリーンベンチ PureQ-be

株式会社ダルトン

  • 粉粒体機械製品

吸引分散撹拌機『Conti-TDS』

株式会社ダルトン

  • 粉粒体機械製品

大型振動ふるい（バイブレイティング シーブ）

株式会社ダルトン

  • 粉粒体機械製品

押出造粒機　バスケットリューザー BR-300F(H)

株式会社ダルトン

  • 粉粒体機械製品

液体／粉体混合　Conti-TDS　吸引分散撹拌機

株式会社ダルトン