【半導体製造装置向け】排ガス処理装置（スクラバー）
排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設備が無い場所でも、安全な運転環境を実現できます。
・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。 ・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。 ・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【特長】 酸・アルカリなどのガスを適切に処理。 スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。 また、室外へ排気された場合でも周辺環境や人体への心配もありません。 スクラバー：薬液槽等から発生する揮発性ガスをスクラバーで中和処理し排出します。
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