FOUP洗浄装置
特殊な高圧ノズルを使用し、ケミカル未使用で洗浄及び乾燥が可能な装置です。
【環境負荷低減】 ・洗浄液は純水のみ使用 ・他社製品に比べ純水の使用量が少ない 【高い洗浄能力】 ・独自の洗浄処理で残渣とパーティクルの洗浄が可能 ・温風を瞬時に発生可能。（常温→65℃まで3秒） ・FOUP BOXと蓋を別々に洗浄することが可能 ・瞬間加熱式の採用で頑固な接着剤や粒子を迅速に洗浄可能 ・高圧洗浄によりレジストなどの高い付着力を持つ汚染物の除去が可能 *Max 約10MPa（1500psi）recipeにて調整可能
基本情報
OHT・AGV対応 フレームFOUPやFOSBと兼用も可能 装置がコンパクト。6軸ロボット未使用 手動機から自動機まで対応 洗浄室は真空チャンバー及び常圧チャンバーの選択が可能 VOC,AMC（分子状汚染物質）、パーティクル、湿度の要求対応可
価格帯
納期
用途／実績例
FOUP洗浄
