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両面ブラシスピン洗浄装置（CMP後洗浄）※テスト機有

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両面ブラシスピン洗浄装置（CMP後洗浄）※テスト機有

一度にウエハーの表面・裏面をブラシ洗浄する装置です。

2流体洗浄との併用により、強固な付着物や微細なパーティクル除去が可能です。 主にCMP後の洗浄で使用します。 装置内構成例：ローダー ⇒ 1.ブラシ洗浄チャンバー ⇒ 2.リンス乾燥チャンバー ⇒アンローダー 1.ブラシ洗浄チャンバー ⇒薬液シャワー → 両面ブラシ洗浄 → 純水リンス 2.リンス乾燥チャンバ― ⇒2流体(N2+純粋)洗浄 → MSシャワー(オプション) → N2ブロー乾燥

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基本情報

ご要望に合わせて制作致します。

価格帯

納期

用途／実績例

ブラシ洗浄

取り扱い会社

株式会社ダルトン
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ダルトングループの活動は、 多様な分野との融合を通じて 社会や人々の生活を支えています。 身近な暮らしのあちこちに、 社会を形づくるさまざまな場所に、 数年後、数十年後、さらにその先の未来のために―― ダルトングループの製品・サービスが支える 価値創造のフィールドは実に多彩です。 高い技術力と想像力を携えて― 私たちは、常にお客様のニーズの一歩先を見つめ、 豊かな社会づくりに貢献しています。

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