蒸気2流体洗浄装置
薬液を使用しない環境に優しい洗浄装置です
★蒸気2流体とは… ・水蒸気（気体）と水（液体）を超音速で噴射して異物を 除去する事が可能です ・蒸気と水の2流体を超音速で噴射させ、無数の水滴が対象 物に衝突する事で、水滴中にキャビテーション（真空の 泡）を発生させます ・真空の泡がつぶれるときに発生する衝撃波の力を利用 して除去します ＜メリット＞ ・薬液を使わないため安全 ・低コスト ・薬液の保管が不要 ・非接触のため消耗品なし（ ブラシなどとの比較） ・衝撃波が対象物表面の水膜中を伝わり、穴や溝の中にも効果が及ぶ ・原料が水だけなので環境にやさしい
基本情報
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用途／実績例
＜用途例＞ ・付着した異物の除去 ・油成分の除去 ・糊などの接着剤の除去 ・メタルリフトオフ（半導体、LEDなどの配線工程） ・研磨後の洗浄（研磨剤、研磨くずの除去） ・研磨布の再生（目詰まり解消） ・レジスト剥離
