オゾン水生成装置
用途に合わせたオゾン水生成装置を基板洗浄装置に組み込んだカスタム提案が可能です
＜特長＞ 〇循環方式採用 ・溜まり水・捨て水が極めて少ない ・濃度の立ち上がりが早い (1分でオゾン水を生成) ・洗浄プロセスでのオゾン水濃度・流量が安定 〇メタルフリーオゾン水 ・独自技術により精密洗浄に適したオゾン水を生成 〇幅広い用途に対応 ・濃度1～100ppm, 流量1～50L/min の幅広い適応 ・発生器、混合器の個別利用可能
基本情報
ご相談ください
価格帯
納期
用途／実績例
＜用途＞ ・レジスト残渣除去 ・表面保護酸化膜 ・有機物除去 ・金属不純物除去 ・有機膜エッチング ・微粒子除去 ・配管洗浄 ・殺菌
