電解イオン水生成装置
電気が通りにくい超純水に対して、特殊電解セルを用いて電解イオン水の生成が可能
＜特長＞ ・一般的には、流れている超純水の抵抗は18MΩであり、電気伝導度が非常に低い為、電気分解できません ・EW techの電解セルを適用すると5Aの電流を最大18Vの電圧で印加し、流れている超純水の電気分解が可能です ・超純水を電気分解すると、水分子（H2O）の一部が水素イオン（H+）と水酸化イオン（OH－）に解離（電離）されて電気化学的性質となった電解イオン水となります
基本情報
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納期
用途／実績例
＜用途＞ ・EUVマスク洗浄 ・ArFマスク洗浄 ・フォトマスク洗浄 ・精密洗浄
