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FOUP Analyzer

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全てのAMCカテゴリーの検出を高感度で実現できます

〇比類なき感度 ・pptvレベルでのAMCの広範囲ガバレッジ 〇比類なき測定スピード ・測定時間～30秒/FOUP ・プロセス間の遅延を最小限にするために統合された高速FOUPハンドリングソリューション 〇AMC定量分析のためのFOUPハイスループットサンプリング　 ・各FOUP30s 以内のサンプリングでAMCの状況を網羅的に提供　※下図参照 ・検出されたAMCの濃度に基づきFOUP次処理に適合・不適合を判断 ・特定FOUPサンプルでの測定は変動20%以下の高い再現性 〇FOUPからのPFAS検出 ・FOUPからのPFAS排出をリアルタイムでモニター可能 ・低pptvあるいはppqレベルのPFASを高精度で測定可能 ・PFASの環境規制強化への対応には、新たなAMC検出が必要不可欠

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多岐にわたる分野で、創造という挑戦を続けるお客様と、歩みを重ねて− 施設機器事業、機械装置事業を両輪とするダルトングループの力は、創造活動に情熱を抱く お客様のパートナーとしての役割を担うことで、はじめて発揮されます。 際立つ個性と知を携えたグループ各社と共に、歴史と信頼を築いてきたサプライヤーと共に、 そして、価値創造の主人公であるお客様と共に。 −創造の、共創へ。− 私たちダルトングループは、おのおのの知と技術を結集し、 お客様のあらゆる創造活動と融合することで、革新的な価値を共に創造し、 豊かな社会と輝ける未来に貢献します。

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