【純水や薬液に好適】高精度な超音波流量計『HLF800シリーズ』
DSP搭載により、高精度で安定した計測を実現！表示部にはVFD表示を採用
『HLF800シリーズ』は、DSP（Digital Signal Processor）を搭載し、 独自の信号演算処理により、安定した計測を実現する超音波流量計です。 1台の変換器で、異なるサイズの検出器を2台接続可能。複数箇所の流量測定を 行う装置では省スペースで、コストパフォーマンスに優れています。 またRS485通信を標準装備しており、管理ソフトの利用でパラメータ設定と 計測データの読み出しがPC上で行え、遠隔での流量監視が可能です。 【特長】 ■2チャンネルの採用により、省スペース・低価格を実現 ■検出器とケーブルが着脱可能で、配線作業が容易 ■流路内に駆動部分が無いため、圧力損失が少ない ■EMC規格（EN61326-1）に適合、RoHSに対応 ■表示付き（HLF820）、表示無し（HLF810）の選択が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】 ■ケーブルの長さは5mまたは7mから選択可能 ■ディスプレイにVFD（蛍光表示管）を採用し、視認性に優れている（HLF820のみ） ■接液部は全てNEW PFA（高耐腐食性）を採用し、純水・薬液などの計測に好適 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【主要用途・使用例】 ■半導体プロセスの純水・超純水の流量測定 ■腐蝕性の高い薬液塗布などの各種薬液処理プロセスの流量管理 ■CMP（Chemical Mechanical polishing）スラリー液の流量測定 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
