実験用真空チャンバー
納入後のプロセスサポート、改造、メンテナンスまで対応!大気圧ピラニ真空計
基本情報
【その他の仕様】 ■真空測定用:ポート1ヶ所 ■ビューポート(覗き窓): 3ヶ所 ■ベントポート:1ヶ所 ■予備ポート:1ヶ所 ■真空計:大気圧ピラニ真空計 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
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当社では、CVD、スパッタ、蒸着などの成膜装置から大気圧プラズマ、 加熱/乾燥炉など真空/大気圧問わず実験装置から生産装置まで、お客様の 要望に合わせて装置を設計、製造致します。 また、CVD法の一種であるプラズマCVD法によりDLC膜を生成します。 a-SiCやSiOxといったSi系膜の作成も可能です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。