【装置周辺設備設置工事実績】冷却チラー設置工事
チラー設置、配管施工、制御BOX、緊急停止時保護ユニットの製作・設置の実績！
基本情報
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価格帯
納期
用途／実績例
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取り扱い会社
当社では、CVD、スパッタ、蒸着などの成膜装置から大気圧プラズマ、 加熱/乾燥炉など真空/大気圧問わず実験装置から生産装置まで、お客様の 要望に合わせて装置を設計、製造致します。 また、CVD法の一種であるプラズマCVD法によりDLC膜を生成します。 a-SiCやSiOxといったSi系膜の作成も可能です。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。
