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真空で使える動力ベルト、あります!【スチールベルトのご紹介】

半導体製造装置での実績多数!トップメーカーも採用!

スカラロボット(水平多関節ロボット)のアーム駆動にはタイミングベルト、ダイレクトモーター、アクチュエーター等の方式が採用されています。 これらは大気環境であれば問題ありませんが、真空環境ではそうはいきません。 問題その1 温度上昇のリスク 真空では数百℃の熱がかかる環境になることもあります。 問題その2 アウトガスのリスク アウトガス(部品に残っていた水分や気体が放出されたガス)はワーク汚染、機器の動作不良などの原因になります。 ステンレスのスチールベルトはこれらの問題に対応できる数少ないアイテムです。 実際に真空対応のスカラロボットにはスチールベルトが採用されています。

関連リンク - https://www.dymco.co.jp/product/do/

基本情報

装置仕様に合わせてご提案致します。

価格帯

納期

型番・ブランド名

スチールオープンベルト DOタイプ

用途/実績例

真空対応の半導体製造装置向けスカラロボット(水平多関節ロボット)

取り扱い会社

ディムコはステンレススチールベルトのメーカーです。 スチールベルトはさまざまな分野で使用・応用されています。 私たちはお客様の課題や不安、リスクを取り除くために 長年の経験と技術力でスチールベルトソリューションを提供します。

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