【半導体向け】薬品・洗剤を使用しない洗浄機
半導体製造における微粒子除去に貢献！
半導体業界では、製品の品質を左右する微粒子の除去が重要です。特に、高密度化が進む中で、コンタミネーションは歩留まりを大きく左右する要因となります。従来の洗浄方法では、薬品や洗剤の使用による環境負荷や、洗浄後の残留物の問題がありました。当社の洗浄機は、スーパーアルカリイオン水を使用し、これらの課題を解決します。 【活用シーン】 ・半導体ウェーハの洗浄 ・各種部品の微粒子除去 ・製造工程における異物除去 【導入の効果】 ・薬品・洗剤の使用量削減 ・環境負荷の低減 ・高い洗浄力による歩留まり向上
基本情報
【特長】 ・スーパーアルカリイオン水（強アルカリ電解水）を使用 ・常温でも汚れ・油を乳化・分離 ・50℃付近まで加温可能 ・圧倒的な噴射力で微粒子を除去 ・食品工場や各種部品洗浄にも対応 【当社の強み】 株式会社Ｅプランは、人と自然にやさしい先端の洗浄技術を提供しています。長年の経験と技術力で、お客様の課題に最適な洗浄ソリューションを提供します。
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
応相談
型番・ブランド名
ECO-WASHERシリーズ
用途／実績例
・製造業 ・金属加工業 ・機械加工 ・自動車業界 など
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取り扱い会社
株式会社Ｅプランは、人に優しく、自然環境を汚さずキレイにすることを追求しています。 人と自然にやさしい先端の洗浄技術を提供するＥプランでは、産業界のさまざまな洗浄（金属、液晶、レンズ、化学、化粧品、製薬、食品、畜産など）で発生する各種の洗浄廃水を再生する浄化装置や、環境を汚さない洗浄機の開発および販売を行っています。 また、株式会社Eプランでは、工業用の洗浄水としても使用されている、強力な洗浄力を実現しながら安全かつ環境にも優しい、界面活性剤などの合成化学物質を含まない99.9%水成分の無色・無臭の電解水： スーパーアルカリイオン水「e ウォッシュ（イーウォッシュ）」を製造、販売しています。