■サブシステムの主な構成 紫外線酸化装置、現地で再生せずに使うイオン交換装置(非再生型ポリッシャー)、限外ろ過膜装置などを、この順に並べるのが基本の形です。 ■紫外線は有機物を「消す」わけではない？！ 185nmの波長を含む紫外線を当てると、水から反応性の強いヒドロキシルラジカルが生じ、微量の有機物は有機酸や二酸化炭素に分解されます。ただし、分解されたものはまだ水の中に残っています。有機酸や炭酸はイオンになるため、後ろのイオン交換装置で取り除けるようになるのです。紫外線の後ろにイオン交換を置くのは、このためです。 ■最後に限外ろ過膜を置くのはなぜ？ 工程の最後で、生菌を含む微粒子を限外ろ過膜で取り除き、ユースポイントへ送ります。前段のイオン交換樹脂からも微細な粒子が出ることがあり、粒子の出にくい樹脂の開発も進められてきました。 ■紫外線ランプも消耗品！ 微量の有機物を分解するため、紫外線酸化装置では紫外線を当て続けます。そのランプは、装置の保守の中で定期的に交換します。

■使わなかった水はどこへ行く？ ユースポイント(洗浄装置などの使用点)で使われなかった超純水は、タンクへ戻して再び処理しながら循環させます。水の流れが止まって滞留する箇所では、細菌が増えやすくなるためです。 ■装置そのものが汚れの出どころに？！ 超純水の水準では、精製に使う機器からの持ち込みも問題になります。紫外線を当てると、副生成物として過酸化水素が生じることが指摘されています。過酸化水素は仕上げの樹脂を傷める原因にもなるため、触媒を担持した樹脂で分解する方法が開発されています。また、溶出の少ないイオン交換樹脂を選んだり、配管にPVDF(ポリフッ化ビニリデン)などの材料を使ったりすることも、水質を保つ工夫です。 ■一次純水の品質が土台 サブシステムが受け持つのは、一次純水に残った微量の不純物です。前処理と一次純水装置の安定した運転が、超純水づくりの前提です。トリイでは、純水装置の前処理や、イオン交換樹脂の取替・保守のご相談を承っています。まずはお気軽にご相談ください。