実験用小型真空蒸着装置
MAX10V-150Aのパワーと大容量のLN2トラップを備え迅速な試料の作成が可能。小型なので省スペース＆リーズナブルプライス。
容器寸法：φ150×200H、排気系：2インチ拡散ポンプ(LN2付)+ロータリポンプ20L/min。メインバルブには2インチサイズを採用しポンプの排気能力を有効に引き出します 。真空容器の金属部、メインバルブ、3方バルブ、リークバルブはステンレス材を採用しています。
基本情報
電源は別置きとなっています。排気系はターボ分子ポンプに変えることも可能です。カスタムオーダーにも対応可能です。多元蒸着装置・大型装置も製作可能です。
価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
応相談
型番・ブランド名
DPS-2-20 他
用途／実績例
電子顕微鏡観察用の金属膜、電極膜、電子部品の開発など
