電子ビーム蒸着装置
ヤシマの電子ビーム蒸着装置はすべてカスタムオーダー。ムダなく、将来の拡張性高く、シンプル。それで価格もリーズナブル。
高融点材料の真空蒸着には電子ビーム蒸着装置が定番です。 弊社では弊社オリジナルだけでなく各社の蒸着ソースに対応します。 電子ビームを安定させる高真空・超高真空の環境を提供します。 基板ヒーター、回転など対応します。 ロードロック仕様に対応します。 シーケンサ・タッチパネルによる手動/自動運転も対応します。
基本情報
写真の基本仕様 4元電子ビーム蒸着装置 電源 3KW 排気系 ターボ分子ポンプ＋ロータリポンプ
価格帯
納期
用途／実績例
高融点材料を含む各種金属及び一部セラミックスの真空蒸着
