大気圧プラズマにおけるダメージを与えない表面機能性付与の新提案
大気圧、ダウンストリーム型プラズマを用いることにより表面ダメージ等を排除！添加ガス種を変えることで、表面機能化分子付与を簡便に！
株式会社イー・スクエアは2001年に大気圧プラズマ装置をリリース以降、1200台以上（2021年時点 国内外表示デバイス市場・その他）の販売実績を誇る大気圧プラズマ装置専門メーカーです。 今回「ワーク表面」や「電子デバイス」にダメージを与えない表面への機能性付与の新提案です。 【掲載内容】 ■はじめに～背景 ■プラズマ処理形態 ■大気圧プラズマ装置から発生する種々のダメージ ■現在の開発テーマ ■最後に 本資料では、大気圧プラズマ使用時の各種ダメージとその原因、電極構造の関係とダメージレス表面機能化やナノレベルの詳細について記載しております。 ※詳細はPDFをダウンロードいただくか直接お問い合わせ下さい。
基本情報
【掲載内容の一部をご紹介】 ＜大気圧プラズマ装置から発生する種々のダメージ＞ (1)誘導電圧（電流）発生に伴う絶縁破壊等 (2)紫外光（有機素材特性変化） (3)表面粗れ（表面粗化またはエッチング） (4)パーティクル発生 (5)静電気発生（集塵効果・絶縁破壊・チャージアップダメージ） (6)アーク及びストリーマ (7)熱（処理中） 処理形態やワークによってそのダメージは、一種のメリットになる可能性もあり、例えば、使用電極構造にもよるが、プラナー型（ダイレクト型）電極の場合、プラズマ発生時のストリーマ（微小アーク）やイオン衝突等により、ワーク表面に粗化を与え、結果的にアンカー効果により密着性の向上につながる場合もあります。 ※詳細はPDFをダウンロードいただくか直接お問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
販売実績で培った装置信頼性と種々のノウハウを用い、その優位性をプロセスアプリケーションと共に他市場（蓄電池市場・粒子その他）へもドライプロセスを用いた新たなアプローチを展開しております。 弊社ダウンストリーム型高密度プラズマソース（電極）処理部分はワークと隔離されいるため、ワークへの電気的・物理的ダメージの発生が無く、プラズマ生成時の紫外光がもたらす影響もなく、大気圧プラズマ装置で唯一のクリーン処理（パーティクルレス）が可能です。 添加ガスの変更により、選択的に分子機能性付与をプロセス技術として各種表面材質に応じた界面制御が可能で、ダイレクト接着や異種材接着、より強固な塗膜との密着性に有効な手段です。処理幅（プラズマ幅は100mm～3000mmに均一な処理が可能。 炭素繊維束や繊維束状の対応も可能で、束内部まで均一処理が可能。また、粒子への同処理も対応しております。 ダウンストリーム型の卓上式の実験装置の製造、スポット型装置（250万円～）、立ち合い実験サンプルワークも実施しております。
