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大気圧プラズマ装置 「Preciseシリーズ」従来比50％の性能UP！低N2消費（約45％削減）の大気圧プラズマ装置 大気圧プラズマ装置 「Preciseシリーズ」は、窒素ガスをベースとし、誘電体バリア放電を利用しワーク自体を電磁界エリアから隔離し、リアクター内で励起されたラジカル等のみを使用した装置です。 これによりワークへのダメージを与えない状態で連続処理が可能になりました。 また、ワークが帯電した状態でも除電され、処理後の気中のパーティクル付着もありません。 【特徴】 ○低温処理 ○ダメージフリー ○ESDフリー処理手前でのイオナイザー装置が不要 ○2年間メンテナンスフリー ○小型軽量（他社比較：約体積比率1/2以下、約重量比率1/3以下） ○半永久的長期寿命の誘電体電極 ○パーティクルフリー ○幅広ワークへの均一処理 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 【大気圧プラズマ装置の優位点】 ■ドライ処理のため乾燥工程不要 ■接触角（表面エネルギー）をコントロールできる ■活性ガス(各種ラジカル）処理なので、不織布や繊維束内部まで処理が可能。 ■種々のガスを添加することで、撥水・還元処理やエッチング、CVD装置プラズマソースとして簡便に使用できる ■パーティクルフリー ■排ガス処理も不要 ■処理表面への物理的、電気的、熱的ダメージがない(ダウンストリーム型) ■処理後の帯電がない(ダウンストリーム型) ■半導体素子上の処理でも素子特性変化がない ■有機表面、内部へのUVダメージがない ■Particle発生がない(ダウンストリーム型) ■残渣物が出来ない表面乾燥ができる ■高密度ラジカルの生成により、窒素ガス消費量の４５％削減（従来比） ■添加ガス種の変更により、マトリックス材に見合う官能基かアミン基の選択が可能 ■各種材質表面へのダイレクト接着技術 ■還元処理
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大気圧プラズマ装置「AP Plasma Precise II」ダメージフリー・パーティクルフリーの大気圧プラズマ装置 大気圧プラズマ装置「AP Plasma Precise II」は、窒素ガスをベースとし、誘電体バリア放電を利用しワーク自体を電磁界エリアから隔離し、リアクター内で励起されたラジカル等のみを使用した装置です。 これによりワークへのダメージを与えない状態で連続処理が可能になりました。 また、ワークが帯電した状態でも除電され、処理後の気中のパーティクル付着もありません。 【特徴】 ○電極交換（誘電体部）不要 ○幅広処理（100ミリ～3000ミリ） ○ダウンストリーム型電極形式の為、処理面に対しダメージ発生がない。 ○2年毎のメンテナンスのみ 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 【大気圧プラズマ装置の優位点】 ■ドライ処理のため乾燥工程が不要 ■目的とする接触角をコントロールできる ■活性ガス(各種ラジカル)の侵入部分全て処理ができる ■添加ガス変更で、撥水・還元処理やエッチング、CVD装置プラズマソースとして使用できる ■装置がコンパクト(省スペース) ■排ガス等の後処理も不要 ■処理表面への電気的、物理的ダメージがない(ダウンストリーム型) ■処理後の帯電がない(ダウンストリーム型) ■半導体素子上の処理でも素子特性変化がない（完全な高周波電力遮蔽） ■処理中のUVダメージがない ■Particle発生がない(ダウンストリーム型) ■残渣物が出来ない表面乾燥ができる ■高密度ラジカル発生により、窒素ガスを半減、生産性の向上に寄与 ■添加ガス種の変更により、接着界面に見合う供給結合分子付与の選択が可能 ■パーティクルフリー
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大気圧プラズマ装置による5G向けプリン基板、FCCL向け伝送ロスを低減するダイレクト接着技術・無電解メッキ前処理に！ 大気圧プラズマ装置を利用した５G・６G向けプリント基板やFCCL製造プロセスに寄与します。 弊社の『Precise』はプラズマ発生部を処理部と分離されているため（ダウンストリーム型）、 処理方面にダメージを与えずに、分子結合を主体に表面に官能基・水酸基を付与することで、 液晶ポリマー（LCP）やフッ素樹脂へ、滑らかな表面のまま、ダイレクトに接着が可能です。 弊社プラズマ処理における接着・接合は分子結合を主体としいるため、 表面へのダメージや、プラズマによるＵＶ光等からの科学的ダメージは全く無い処理が可能。 種々のフィルムへのダメージレスダイレクト接着のサンプルワークを実施しております。 弊社実験データでは、その接着強度は９N/cm（Ｃｕ／ＬＣＰ）以上を実現。 Ni表面への接着強度向上に関しては表面にアミン基を配列することにより向上します。 これらの処理は添加ガスを変えることで簡便に実現できます。 プラズマ長（幅）で仕様、販売価格が変わります。 ご希望のプラズマ幅（処理幅）をお知らせください。 100ミリ～3000ミリ幅まで製作可能。 卓上式実験機製作可、立ち合い実験可能
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いまさら聞けない大気圧プラズマ装置の選び方！大気圧プラズマ装置の「処理可能プラズマ処理幅」をはじめ「当社独自の装置特長」などをご紹介！ 当ページでは、コロナ処理や、アーク等を用いた装置ではなく、 完全なるバルクプラズマを発生させた大気圧プラズマ装置を主体に置き、説明しております。 ワーク（被処理物）の性格や、次工程への状況を踏まえ、 大気圧プラズマ装置選定時の最適化のご参考になれば幸いです。 酸素ラジカルやOHラジカルなどでのドライ洗浄や、官能基等の親水処理化など、接着材を用いない接着剤レス接着に関して、銅箔、基材間との分子結合を主体とし、エッジ効果を排除した接着が可能で、今後の5G、6G向けのFCCL等プリント基板や実装工程に寄与できるものと考えます。 また、リチュウームイオン電池への電解液含浸プロセスの時短、電極形成時の異種材接着へのダメージレスダイレクト接着工程への応用。 詳しくは、下記の関連リンクよりご覧ください。 【掲載内容】 ■使用目的（大気圧プラズマ装置で可能な処理） ■大気圧プラズマ装置の処理形態を大きく分類すると3種に大別される ■被処理物とプラズマ形態 ■当社独自の装置特長（ダウンストリーム型） ■誘電体バリア（DBD）放電の内部模式図 ※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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大気圧プラズマ装置を用いたダイレクト接着大気圧プラズマ装置による分子結合接着「ダウンストリーム型大気圧プラズマ接合・接着の基本的概念」 大気圧プラズマ装置を用いたミリ波に対応するFCCL製造関連に適した伝送ロスを排除した接着技術であり、分子結合を利用した接着剤レス接着であるため信頼性が高く、ワーク表面のフラットな状態をキープしながら、フッ素樹脂やその他フィルムとの異種材接着を実現している。 使用ガス種の変更により選択的に共有結合分子を選択でき、接着相手側との最適化を実現。 また、既存接着強度の向上にも適用可能です。 本資料では、「ダウンストリーム型大気圧プラズマ装置」を使った、 接合・接着の概要や必要な前処理、活用メリットについて紹介しています。 【掲載内容】 ■基本的概念 ■メリット ■プラズマ処理のイメージ図 ※PDFダウンロードよりご覧いただけます。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 【ダウンストリーム型大気圧プラズマ装置の特長】 ■基材へのダメージや表面粗度の変化を抑えた処理が可能 ■銅箔とLCPやフッ素樹脂フィルムの接着 ■スポンジ、不織布の内部の処理も可能 当社では、プラズマ発生エリアとワーク間距離の短縮による高性能化や プラズマ生成時のUV・DeepUVによるワーク内部の分子間架橋特性変化のない 特長を持つダウンストリーム型大気圧プラズマ装置を提供可能です。 詳しくは、お気軽にお問い合わせください。
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大気圧プラズマにおけるダメージを与えない表面機能性付与の新提案大気圧、ダウンストリーム型プラズマを用いることにより表面ダメージ等を排除！添加ガス種を変えることで、表面機能化分子付与を簡便に！ 株式会社イー・スクエアは2001年に大気圧プラズマ装置をリリース以降、1200台以上（2021年時点 国内外表示デバイス市場・その他）の販売実績を誇る大気圧プラズマ装置専門メーカーです。 今回「ワーク表面」や「電子デバイス」にダメージを与えない表面への機能性付与の新提案です。 【掲載内容】 ■はじめに～背景 ■プラズマ処理形態 ■大気圧プラズマ装置から発生する種々のダメージ ■現在の開発テーマ ■最後に 本資料では、大気圧プラズマ使用時の各種ダメージとその原因、電極構造の関係とダメージレス表面機能化やナノレベルの詳細について記載しております。 ※詳細はPDFをダウンロードいただくか直接お問い合わせ下さい。 【掲載内容の一部をご紹介】 ＜大気圧プラズマ装置から発生する種々のダメージ＞ (1)誘導電圧（電流）発生に伴う絶縁破壊等 (2)紫外光（有機素材特性変化） (3)表面粗れ（表面粗化またはエッチング） (4)パーティクル発生 (5)静電気発生（集塵効果・絶縁破壊・チャージアップダメージ） (6)アーク及びストリーマ (7)熱（処理中） 処理形態やワークによってそのダメージは、一種のメリットになる可能性もあり、例えば、使用電極構造にもよるが、プラナー型（ダイレクト型）電極の場合、プラズマ発生時のストリーマ（微小アーク）やイオン衝突等により、ワーク表面に粗化を与え、結果的にアンカー効果により密着性の向上につながる場合もあります。 ※詳細はPDFをダウンロードいただくか直接お問い合わせ下さい。
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製品・サービス
表面処理装置 プラズマ装置選定
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すべての製品・サービス
大気圧プラズマ装置 ※累計1200台以上の導入実績 大気圧Plasma装置の開発・製造・販売累計1200台以上の実績（2021年）！ 高密度プラズマ発生が可能な大気圧プラズマ装置 大気圧プラズマ装置による繊維束状用表面改質 大気圧プラズマ装置を用いた効率的な繊維束状用表面改質方法 大気圧プラズマ装置 「Preciseシリーズ」 従来比50％の性能UP！低N2消費（約45％削減）の大気圧プラズマ装置 大気圧プラズマ装置「AP Plasma Precise II」 ダメージフリー・パーティクルフリーの大気圧プラズマ装置 大気圧プラズマ表面処理装置 5G向けプリント基板（FCCL）にも 液晶ポリマー、フッ素樹脂、PP等のフィルムまたは異種材とのダイレクト接着が可能※コロナ、光、湿式方式との違いを掲載した資料進呈 大気圧プラズマ装置によるCFRP・長尺繊維束向けの高効率表面改質 CFRP、グラスファイバー、長尺繊維への表面処理 大気圧プラズマ『Precise』シリーズ ※資料進呈中 【異種接合・接着剤レス直接接合】密着性・親水性などが向上！炭素繊維を高効率プラズマで表面改質。コスト削減も 大気圧プラズマ表面処理装置 FCCL市場向けダイレクト 接着技術 5G、６GFCCL市場でのダイレクト接着を可能にする、大気圧プラズマ装置 大気圧プラズマ装置Cu/フッ素樹脂等へのダイレクト接着と超親水化 フッ素樹脂（PTFE・PFA）に粗面化不要のダイレクト接着が可能な大気圧プラズマ装置！ 大気圧プラズマ装置による5G向けプリン基板、FCCL向け 伝送ロスを低減するダイレクト接着技術・無電解メッキ前処理に！ 大気圧プラズマ装置を利用した電解液の注入時間短縮！ 防爆型リチウムイオン電池の製造工程で、時間のかかる電解液の注入含浸時間の短縮に効果が期待できる大気圧プラズマ装置！ 今さら聞けない大気圧プラズマ装置の選び方 ※解説資料進呈 大気圧プラズマ装置の処理形態 や 当社独自の装置特長 などについて解説しています いまさら聞けない大気圧プラズマ装置の選び方！ 大気圧プラズマ装置の「処理可能プラズマ処理幅」をはじめ「当社独自の装置特長」などをご紹介！ 大気圧プラズマ装置を用いた粒子への効率的表面改質 大気圧プラズマ装置による効率的な表面処理を実現！バグフィルターにて捕獲粒子サイズを簡単に変更可能 【大気圧プラズマ装置 課題解決例】テフロン表面への超親水化処理 大気圧プラズマ装置によるテフロン（PTFE・PFA）への超親水化、5度近傍（純水での接触角）に成功。 大気圧プラズマ装置を用いたダイレクト接着 大気圧プラズマ装置による分子結合接着「ダウンストリーム型大気圧プラズマ接合・接着の基本的概念」 大気圧プラズマにおけるダメージを与えない表面機能性付与の新提案 大気圧、ダウンストリーム型プラズマを用いることにより表面ダメージ等を排除！添加ガス種を変えることで、表面機能化分子付与を簡便に！ 大気圧プラズマ装置を用いたダイレクト接着接合時のラミ前ドライ処理 ダウンストリーム型大気圧プラズマ装置による分子結合接着・接合（ダイレクト接着）の基本的概念
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表面処理装置
表面処理装置のご紹介です。 大気圧プラズマ装置 ※累計1200台以上の導入実績 大気圧Plasma装置の開発・製造・販売累計1200台以上の実績（2021年）！ 高密度プラズマ発生が可能な大気圧プラズマ装置 大気圧プラズマ装置による繊維束状用表面改質 大気圧プラズマ装置を用いた効率的な繊維束状用表面改質方法 大気圧プラズマ装置 「Preciseシリーズ」 従来比50％の性能UP！低N2消費（約45％削減）の大気圧プラズマ装置 大気圧プラズマ装置「AP Plasma Precise II」 ダメージフリー・パーティクルフリーの大気圧プラズマ装置 大気圧プラズマ表面処理装置 5G向けプリント基板（FCCL）にも 液晶ポリマー、フッ素樹脂、PP等のフィルムまたは異種材とのダイレクト接着が可能※コロナ、光、湿式方式との違いを掲載した資料進呈 大気圧プラズマ装置によるCFRP・長尺繊維束向けの高効率表面改質 CFRP、グラスファイバー、長尺繊維への表面処理 大気圧プラズマ表面処理装置 FCCL市場向けダイレクト 接着技術 5G、６GFCCL市場でのダイレクト接着を可能にする、大気圧プラズマ装置 大気圧プラズマ装置を用いた粒子への効率的表面改質 大気圧プラズマ装置による効率的な表面処理を実現！バグフィルターにて捕獲粒子サイズを簡単に変更可能 大気圧プラズマ装置Cu/フッ素樹脂等へのダイレクト接着と超親水化 フッ素樹脂（PTFE・PFA）に粗面化不要のダイレクト接着が可能な大気圧プラズマ装置！ 大気圧プラズマ装置による5G向けプリン基板、FCCL向け 伝送ロスを低減するダイレクト接着技術・無電解メッキ前処理に！ 大気圧プラズマ装置を利用した電解液の注入時間短縮！ 防爆型リチウムイオン電池の製造工程で、時間のかかる電解液の注入含浸時間の短縮に効果が期待できる大気圧プラズマ装置！ 今さら聞けない大気圧プラズマ装置の選び方 ※解説資料進呈 大気圧プラズマ装置の処理形態 や 当社独自の装置特長 などについて解説しています 大気圧プラズマにおけるダメージを与えない表面機能性付与の新提案 大気圧、ダウンストリーム型プラズマを用いることにより表面ダメージ等を排除！添加ガス種を変えることで、表面機能化分子付与を簡便に！ 大気圧プラズマ装置を用いたダイレクト接着接合時のラミ前ドライ処理 ダウンストリーム型大気圧プラズマ装置による分子結合接着・接合（ダイレクト接着）の基本的概念
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カタログ一覧
常圧・大気圧プラズマ表面処理装置 『Precise シリーズ』 幅広・長尺ワーク向け大気圧プラズマによる表面処理装置 ダウンストリーム型は完全ダメージレス処理 1400台以上の販売実績 常圧プラズマ表面処理装置 「Preciseシリーズ」 半導体関連の大気汚染等に関する空気清浄装置の開発・製造・販売などを行っている株式会社イー・スクエアの製品カタログです。 プラズマ表面処理装置「AP Plasma Precise II」 半導体関連の大気汚染等に関する空気清浄装置の開発・製造・販売などを行っている株式会社イー・スクエアの製品カタログです。 プラズマ表面処理装置「AP Plasma Precise II」 CFRP、カーボン等の繊維における表面改質に適しています。 大気圧プラズマ『Precise』シリーズ 密着性・親水性などが向上！炭素繊維を高効率プラズマで表面改質。コスト削減も 【資料】大気圧プラズマ表面改質の優位性とその装置 ver：2 種々の表面改質手段や各種材質における接触角経時変化などを掲載！ ダウンストリーム型でのダイレクト接着・接着剤レス、接着 完全ダメージレス、ダイレクト接着・接着剤レス接着 ガス種の変更で最適な供給結合分子の付与が可能 既存ライン上の密着性向上 今さら聞けない大気圧プラズマ装置の選び方 ver：2 大気圧プラズマでの粒子への効率的な表面処理 【プラズマ装置による接着性向上】PTFE・PFA表面への超親水化 資料『ダウンストリーム型大気圧プラズマ接合・接着の基本的概念とそのメリット』 ワーク表面や電子デバイスにダメージを与えない表面への機能性付与の新提案
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その他・お知らせ
【課題解決例】テフロン（PTFE）表面への超親水化処理
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大気圧プラズマ装置 ※累計1200台以上の導入実績大気圧Plasma装置の開発・製造・販売累計1200台以上の実績（2021年）！ 高密度プラズマ発生が可能な大気圧プラズマ装置 株式会社イー・スクエアは、1999年08月 IC製造等で排出されるPFC（パーフロロカーボン）を除去するプラズマ除去の応用で地球環境への社会貢献を目的として設立されました。 2001年10月、大気圧プラズマ装置を利用した表面改質処理装置の開発に着手。 大気圧プラズマ装置によるレジストの剥離実験が、LCD製造工程に多用される表面改質装置へと繋がり、2002年08月 表面処理装置が完成、さらに、コーティング・フィルム・プリント基板業界への進出を決定する契機にもなりました。 イー・スクエアは、超小型･軽量で高い信頼性と高密度プラズマ発生を有した 常圧Plasma表面処理装置 『Precise II』の開発、製造、販売後、累計1200台以上（2021年）の販売実績を有します。 【特徴】 ○新しくなったPreciseシリーズ ○他社を凌ぐ改質性能(高密度プラズマ発生) ○ダメージフリー・パーティクルフリー ○超小型・軽量(Preciseシリーズ) 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 【大気圧プラズマ表面改質の優位点】 ■目的とする表面エネルギー（接触角）をコントロールできる ■活性種ガス(OHラジカル等)の侵入部分の細部まで処理ができる ■種々のガスを添加することで、撥水・還元処理やエッチング、CVD装置プラズマソースとして簡便に使用できる ■装置がコンパクト(省スペース) ■親水処理では排ガス等の後処理も不要 ■処理表面への物理的ダメージがない(ダウンストリーム型) ■処理後の帯電がない(ダウンストリーム型) ■半導体素子上の処理でも素子性能変化がない ■処理中表面へのUVダメージがない ■Particle発生がない(ダウンストリーム型) ■残渣物の出来ない常温表面乾燥 ■添加ガス種の変更により、マトリックス材に見合う共有結合分子の付与 ■分子結合を用いた各種フィルムへのダイレクト接着技術、
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大気圧プラズマ装置による繊維束状用表面改質大気圧プラズマ装置を用いた効率的な繊維束状用表面改質方法 繊維束状用表面改質装置は、繊維束状物をターゲットにカーボンファイバー、ブラスファイバー、ポリマー系ファイバー等繊維束状物を束の中まで効率よく親水化処理が可能。 処理スピードに合わせたプラズマ処理幅を自由に設計することができ、処理室内部をプラズマ（ラジカル）を封じ込める構造により、束の内部まで均一に処理ができる。 処理後のワークに対して帯電しない。（特許申請中） 【特徴】 ○プラズマを封じ込めた構造による、束状の繊維一本一本への効率的な親水化処理 ○高い信頼性 ○ダメージレス処理 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 【大気圧プラズマ装置表面改質の優位点】 ■ドライ処理のため乾燥工程が不要 ■目的とする接触角をコントロールできる ■活性ガス(OHラジカル等)の侵入部分全て処理ができる ■種々のガスを添加することで、撥水・還元処理やエッチング、CVD装置プラズマソースとして簡便に使用できる ■コンパクト(省スペース) ■親水処理では排ガス等の後処理も不要 ■処理表面への物理的ダメージがない(ダウンストリーム型) ■処理後の帯電がない(ダウンストリーム型) ■半導体素子上の処理でも素子性能変化がない ■処理表面へのUVダメージがない ■Particle発生がない(ダウンストリーム型) ■プラズマによる精密乾燥（乾燥痕のない）ができる ■高密度プラズマの発生により、窒素ガス消費量が４５％減 ■添加ガス種の変更により、接合相手材質に見合う官能基かアミン基等の選択が可能 ■共有結合分子付与による同種/異種材料直接・接合が可能
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大気圧プラズマ表面処理装置 5G向けプリント基板（FCCL）にも液晶ポリマー、フッ素樹脂、PP等のフィルムまたは異種材とのダイレクト接着が可能※コロナ、光、湿式方式との違いを掲載した資料進呈 弊社の大気圧プラズマ表面処理装置『Precise』は、 プラズマ発生部を処理部と分離されているため（ダウンストリーム型）、 処理方面にダメージを与えることなく、分子結合を主体に表面に 官能基・水酸基を付与することで、液晶ポリマー（LCP）やフッ素樹脂へ、 滑らかな表面のまま、ダイレクトに接着することが可能です。 また、プラズマ処理により正・負電極部やセパレータへの表面を活性化することで、 リチウムイオン電池への電解液の注入含浸時間の短縮にも効果が期待できます。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 【リチウムイオン電池への電解液の注入時間の短縮について】 ワークの表面に親水性を持たせることで、毛管現象（毛細管現象）の効果があがるため、電解液の注入時間短縮が期待できます。 もし、ご興味をお持ちいただけましたら、一度お問合せいただけますと幸いです。
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大気圧プラズマ装置によるCFRP・長尺繊維束向けの高効率表面改質CFRP、グラスファイバー、長尺繊維への表面処理 大気圧プラズマ装置Preciseシリーズは、窒素ガスをベースとし、誘電体バリア放電を利用しワーク自体を電磁界エリアから隔離し、リアクター内で励起されたラジカル等のみを使用した装置です。 これによりワークへのダメージを与えない状態で連続処理が可能になりました。 また、ワークが帯電状態でも処理ごは除電され、処理後の気中のパーティクル付着はありません。 添加ガスを変えることにより、処理表面への官能基やOH基、アミン基等の結合分子の選択が可能で、次工程での接合条件の最適化が可能です。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 【大気圧プラズマ表面改質の優位点】 ■ドライ処理のため乾燥工程(ドライプロセス)が不要 ■活性ガス(種々のラジカル)の侵入部分全て処理ができる ■装置がコンパクト(省スペース) ■処理表面への物理的ダメージがない(ダウンストリーム型) ■処理後の帯電がない(ダウンストリーム型) ■半導体素子上の処理でも素子性能変化がない ■処理中表面へのUVダメージがない ■Particle発生がない(ダウンストリーム型) ■残渣物が出来ない表面乾燥ができる ■高密度ラジカル発生により繊維束内部まで効率的なドライ洗浄ができる。 ■添加ガス種の変更により、マトリックス材に見合う官能基かアミン基の選択が可能 ■界面制御による同種・異種材料接合技術
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大気圧プラズマ『Precise』シリーズ ※資料進呈中【異種接合・接着剤レス直接接合】密着性・親水性などが向上！炭素繊維を高効率プラズマで表面改質。コスト削減も 『Precise』は、炭素繊維表面・チョップドファイバー・カーボンブラック等の粒子などに処理することで、表面の親水化、密着性向上などの効果を得られる大気圧プラズマ処理です。 プラズマソースと処理エリアの電気的な隔離を十分に行うことで、ワークに損傷なく、また処理後の静電気の発生もなく、表面改質を行えます。 また、サイジング前処理への応用ではリンス工程やその後の乾燥工程が不要になり、大幅なコスト削減に貢献するなど、表面改質以外の効果も期待できます。 【応用例とその効果】 ■サイジング前処理での密着性向上による使用でのコスト削減 ■サイジング後のアンカー効果 ■粉体への表面処理による、溶液への溶け込みと分散性特性の向上 ■異種接合・接着剤レス直接接合を実現 ※詳しくは資料をご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 【大気圧プラズマ表面改質の優位点】 ■ドライ処理のため乾燥工程(ドライプロセス)が不要 ■目的とする接触角をコントロールできる ■活性ガス(OHラジカル)の侵入部分全て処理ができる ■種々のガスを添加することで、撥水・還元処理やエッチング、CVD装置プラズマソースとして簡便に使用できる ■装置がコンパクト(省スペース) ■親水処理では排ガス等の後処理も不要 ■処理表面への物理的ダメージがない(ダウンストリーム型) ■処理後の帯電がない(ダウンストリーム型) ■半導体素子上の処理でも素子性能変化がない ■処理中表面へのUVダメージがない ■Particle発生がない(ダウンストリーム型) ■残渣物が出来ない表面乾燥ができる ■反応性の高い酸素ラジカル粒子を高密度に生成するので、高速に処理でき、生産性の向上に寄与 ■添加ガス種の変更により、マトリックス材に見合う官能基かアミン基の選択が可能 ■液晶ポリマー(LCP)本来の有効な電機特性を失うことなく、接着性を高めることが可能 ■接着剤を用いないので、低誘電率での直接接合が可能 ■界面制御による同種・異種材料接合技術
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大気圧プラズマ表面処理装置 FCCL市場向けダイレクト 接着技術5G、６GFCCL市場でのダイレクト接着を可能にする、大気圧プラズマ装置 ミリ波機器向FCCL市場に需要が急増している基板材料表面を粗面化せずに、 ダイレクト接着する技術が求められています。 弊社、ダウンストリーム型大気圧プラズマ装置における接着・接合は分子結合を主体としいるため、 表面へのダメージや、プラズマによるＵＶ光等からの科学的ダメージは全く無い処理が出来ます。 弊社の『Precise』はプラズマ発生部を処理部と分離されているため（ダウンストリーム型）、 処理方面にダメージを与えることなく、分子結合を主体に表面に官能基・水酸基を付与することで、 液晶ポリマー（LCP）やフッ素樹脂へ、滑らかな表面のまま、ダイレクトに接着することが可能です。 弊社プラズマ処理における接着・接合は分子結合を主体としいるため、表面へのダメージや、 プラズマによるＵＶ光等からの科学的ダメージは全く無い処理が出来ます。 また、プラズマ処理により、無電解メッキ前処理を行うことにより、触媒の分散性を向上させ、均一なCuメッキを実現します。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 弊社ラボにてサンプルワークを実施しております。 お気軽にお問合せください。
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大気圧プラズマ装置Cu/フッ素樹脂等へのダイレクト接着と超親水化フッ素樹脂（PTFE・PFA）に粗面化不要のダイレクト接着が可能な大気圧プラズマ装置！ ５G・６Gを支える基板の材料として注目されているフッ素樹脂（PTFE・PFA）やLCPフィルムへの Cuメッキや直接接着が出来ます。 弊社の大気圧プラズマ表面処理装置『Precise』は、 プラズマ発生部を処理部と分離されているため（ダウンストリーム型）、 処理方面にダメージを与えることなく、分子結合を主体に 表面に官能基・水酸基を付与することで、液晶ポリマー（LCP）やフッ素樹脂（PTFE・PFA）へ、 滑らかな表面のまま、ダイレクトに接着することが可能です。 弊社プラズマ処理における接着・接合は分子結合を主体としいるため、 表面へのダメージや、プラズマによるＵＶ光等からの科学的ダメージは全く無い処理が出来ます。 また、プラズマ処理により正・負電極部やセパレータへの表面を活性化することで、 リチウムイオン電池への電解液の注入含浸時間の短縮にも効果が期待できます。 処理幅は100ミリから3000ミリを均一処理。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 【リチウムイオン電池への電解液の注入時間の短縮について】 ワークの表面に親水性を持たせることで、毛管現象（毛細管現象）の効果があがるため、電解液の注入時間短縮が期待できます。 もし、ご興味をお持ちいただけましたら、一度お問合せいただけますと幸いです。
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大気圧プラズマ装置を利用した電解液の注入時間短縮！防爆型リチウムイオン電池の製造工程で、時間のかかる電解液の注入含浸時間の短縮に効果が期待できる大気圧プラズマ装置！ 弊社の大気圧プラズマ装置『Precise』は、 プラズマ処理により正・負電極部やセパレータへの表面を活性化することで、 リチウムイオン電池への電解液の注入含浸時間の短縮が可能。 また、同処理はプラズマ発生部から隔離され、 ラジカル種のみの処理となる為、表面へのダメージ等は全くありません。 ワークの表面に表面活性化させ、親水性を持たせることで、 対向面との毛管現象の効果にて、 電解液の注入時間短縮が期待できます。 もし、ご興味をお持ちいただけましたら、一度お問合せいただけますと幸いです。 大気圧プラズマ表面処理装置『Precise』について プラズマ発生部を処理部と分離されているため（ダウンストリーム型）、処理界面にダメージを与えることなく、分子結合を主体に表面に官能基・水酸基、アミン基を付与することで、種々のフィルムや金属薄膜とのダイレクトに接着することが可能です。この技術は電極形成時に有効と考えております。 弊社ラボにてサンプルワーク実施しております。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
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今さら聞けない大気圧プラズマ装置の選び方 ※解説資料進呈大気圧プラズマ装置の処理形態 や 当社独自の装置特長 などについて解説しています ここではコロナ処理や、アーク等を用いた装置ではなく、 完全なるバルクプラズマを発生させた大気圧プラズマ装置を主体に置き、説明しております。 特殊電極構造を用い、窒素ガス・希ガス等をベースに高周波電力を電極に印可し、 高密度プラズマを発生させることによりが生成された高密度の活性種が ワーク表面に官能基や水酸基、アミン基を付与し、 濡れ性や、塗布性能、有機物除去等の処理が可能になります。 添加ガスを変えることにより、選択的に付与される分子を生成され、 撥水化、還元等、薄膜体積、ドライエッチング等の処理が可能になります。 また、洗浄工程や、メッキ処理時前にプラズマ処理を行うことで、 処理表面を活性化し薬液との反応性を高め洗浄性能の向上や 気泡の除去等に役立ちます。 処理に関してワークの性格や、次工程への状況を踏まえ、 下記に纏める大気圧プラズマ装置選定時の最適化のご参考になれば幸いです。 また、接着材を用いない接着剤レス接着に関して、 銅箔との分子結合を主体とした接着技術が伝送ロスを低減し、 ５G、６G向けのFCCL等の製造に寄与できるものと考えます。 【当社独自の装置特長（ダウンストリーム型）】 ■幅広、長尺物への均一処理（100ミリ～3000ミリ） ■半導体チップ上の処理も可能（処理後のトランジスタ特性変化なし） ■4nmのＬ＆Ｓでも絶縁破壊等の発生が無い ■ワーク内部の分子間架橋特性変化や分子切断の影響やダメージ発生がない ■Particle発生が無い（0.3μ以上及び2.83SLMのサンプリング時） ■窒素消費が少ない（従来比４５％削減） ■処理後のワークへの帯電はほぼゼロ 【当社大気圧プラズマ装置】 ■ダウンストリーム型：Precise シリーズ ■プラナー型：Precise Pシリーズ ■スポット型：Precise Sシリーズ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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大気圧プラズマ装置を用いた粒子への効率的表面改質大気圧プラズマ装置による効率的な表面処理を実現！バグフィルターにて捕獲粒子サイズを簡単に変更可能 大気圧プラズマ装置での粒子の分散性、粒子への親水化、 金属粒子への表面還元を高効率に処理ができる方法を開発しました。 ダウンストリーム型で幅広、長尺ワークへの有利な処理方法を生かした構造を 利用し、ラジカルをキャビティ内部に閉じ込め、ワークと撹拌することで、 より効率的な表面処理を可能にしました。 ワークに対して電気的・電磁波ダメージや、UVダメージを完全に排除しているため、 金属粒子への表面改質はもちろん、ワーク表面へのダメージは皆無。 このため、処理後ワークへの帯電は生じません。 【特長】 ■ダウンストリーム型で幅広 ■長尺ワークへの有利な処理方法を生かした構造 ■ワークに対して電気的・電磁波ダメージや、UVダメージを完全に排除 ■プラズマ照射幅（100mm～2000mm）の幅で製作可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。 【その他の特長】 ■プラズマ生成時のUV・DeepUV光量を従来比約1/80に減衰 ■ワーク内部の分子間架橋特性変化やダメージ発生がない ■放電電極内でのイオン加速制御及びスパッタ効果の抑制効果から、Particle発生が無い ■誘電体電極寿命が半永久的に使用でき、ランニングコスト低減 ■半導体チップ上の処理も可能（処理後のトランジスタ特性変化なし<4nm以上のL/S>） ■プラズマ発生エリアとワーク間距離を最小限にする構造（特許）により、高性能化が実現 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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【大気圧プラズマ装置 課題解決例】テフロン表面への超親水化処理大気圧プラズマ装置によるテフロン（PTFE・PFA）への超親水化、5度近傍（純水での接触角）に成功。 大気圧プラズマ装置による課題解決事例をご紹介いたします。 この度、フッ素樹脂（PTFE、PFA）への表面改質を 5 度近傍（純水での接触角）に成功しました。 従来 50 度近傍が最大値でしたが、 今回レシピ等の最適化等に伴い実現いたしました。 テフロン表面のC・Fの架橋をプラズマで切断後、それぞれに親水基または官能基で終端させることで 超親水化を実現しました。 今後、６G 向け FCCL 銅箔等へのダイレクト接着にも寄与すると確信しております。 各種実験装置製作 立ち合い実験実施中 ※詳しくはお問い合わせ、またはPDFをダウンロードしてください。
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大気圧プラズマ装置を用いたダイレクト接着接合時のラミ前ドライ処理ダウンストリーム型大気圧プラズマ装置による分子結合接着・接合（ダイレクト接着）の基本的概念 弊社ダウンストリーム型プラズマ装置は処理時に生ずる種々のダメージ等を排除し、 クリーン処理、かつ、スムース表面での接着が可能で、５G ６G向けFCCL製造関連等や、 2次電池市場でのカーボンフィルム等、電極製造関連の異種材接着、接合時のドライ前処理に適しています。 また、接合界面材質に見合った結合分子を、添加ガスの変更やプラズマパラメータの最適化により、 界面に対し、選択的に機能性分子（共有結合分子等）付与できます。 困難なPFAやPTFE表面親水化に於いても、接触角を10度以下にすることも可能です。 ※弊社ラボにてサンプルワークも実施しております。 【掲載内容】 ■基本的概念 ■メリット ■処理イメージ（R to R） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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プラズマ装置選定
『プラズマ装置選定』についてご紹介します。 いまさら聞けない大気圧プラズマ装置の選び方！ 大気圧プラズマ装置の「処理可能プラズマ処理幅」をはじめ「当社独自の装置特長」などをご紹介！ 大気圧プラズマ装置を用いた粒子への効率的表面改質 大気圧プラズマ装置による効率的な表面処理を実現！バグフィルターにて捕獲粒子サイズを簡単に変更可能 大気圧プラズマ装置を用いたダイレクト接着 大気圧プラズマ装置による分子結合接着「ダウンストリーム型大気圧プラズマ接合・接着の基本的概念」 大気圧プラズマにおけるダメージを与えない表面機能性付与の新提案 大気圧、ダウンストリーム型プラズマを用いることにより表面ダメージ等を排除！添加ガス種を変えることで、表面機能化分子付与を簡便に！ 大気圧プラズマ装置を用いたダイレクト接着接合時のラミ前ドライ処理 ダウンストリーム型大気圧プラズマ装置による分子結合接着・接合（ダイレクト接着）の基本的概念
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第6回次世代基盤技術産業展 TECH Biz EXPO 2016に出展中！サイジング表面処理用 大気圧プラズマ装置をご案内しております。 11月18日(金) 13:55～14:15 弊社代表の高島が講演を行います。 テーマ『大気圧プラズマによる炭素繊維表面への高速親水化処理』 是非ご来場下さい。 展示会会期：2016年11月16日～18日 10時～17時 会場：吹上ホール（名古屋中小企業振興会館） 名古屋市千種区吹上二丁目6番3号
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スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会 第159回定例研究会 テーマ「大気圧プラズマの最前線」京都大学桂キャンパスで開催されるスパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会 第159回定例研究会のご案内です。 9月4日に開催を予定していましたが、台風21号の接近に伴い今回は見合わせることになりました。今後の開催につきましては検討次第、ホームページにてお知らせいたします。 【講演概要】 大気圧プラズマによる表面処理は、真空装置を使用しないため、低コストで連続処理ができる利点があります。また近年、ガス温度が室温に近い低温プラズマ源の開発が進んだことから、バイオ・医療分野へも応用の拡がりを見せています。このような高い可能性をもった大気圧プラズマについて、基礎から最近のトピックスまでご講演いただく機会を設けました。 【講演プログラム(抜粋)】 ■新しい大気圧プラズマ装置の開発と医療等への応用（東京工業大学） ■フッ素樹脂と異種材料を強力接着するためのプラズマ表面改質技術（大阪大学） ■大気圧プラズマと表面の相互作用（名古屋大学） ■大気圧プラズマ表面改質の優位性とその装置（イー・スクエア） 皆様のご参加を心よりお待ちいたしております。
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日本表面真空学会 SP部会 第159回定例研究会(3/15)のご案内2019年3月15日に京都大学桂キャンパスで開催される 【日本表面真空学会 SP部会 第159回定例研究会】のご案内です。 高い可能性をもった大気圧プラズマについて、学界や産業界で 活躍されている研究者や技術者をお招きし、基礎から最近の トピックスまで講演していただきます。 なお、当研究会は、去る2018年9月4日に予定され、台風のため 中止となったものを再企画したものです。 皆様のご参加を心よりお待ち申し上げます。 【講演プログラム】 ■13:00～14:10 沖野 晃俊（東京工業大学） 「新しい大気圧プラズマ装置の開発と医療等への応用」 ■14:10～14:50 大久保 雄司（大阪大学） 「フッ素樹脂と異種材料を強力接着するためのプラズマ表面改質技術」 ■14:50～15:10 休憩 ■15:10～15:50 堀 勝（名古屋大学） 「大気圧プラズマと表面の相互作用」 ■15:50～16:30 高島 賢二（イー・スクエア） 「大気圧プラズマ表面改質の優位性とその装置」 ※詳しくは外部リンクご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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コンバーティングテクノロジーセミナー2019のご案内当社は、7月5日（金）東京会場と7月12日（金）大阪会場にて開催される 「コンバーティングテクノロジーセミナー2019」に参加します。 今回のコンバーティングテクノロジーセミナーのテーマは 「マルチマテリアル化」と「樹脂の機能化」、「異種材料接着」です。 第三部では、大気圧プラズマで大きな実績がある当社社長の高島が 接合には欠かせない表面処理についてお話しさせていただきます。 【第三部 講演内容】 ■種々の表面改質手段（コロナ処理・湿式方式・光（UV・エキシマ）について ■大気圧プラズマ表面改質の優位点 ■LCD市場における大気圧プラズマ表面改質の現状 ■プラズマ装置の特徴やメカニズムによる特性の違い ■種々の処理形態及びプロセス関連 ※「詳細・申し込み」ボタンより詳細ページ/お申し込みフォームへ移動します。 みなさまのご参加をお待ちしております。
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【課題解決例】テフロン（PTFE）表面への超親水化処理この度、テフロン（PTFE）への表面改質を一けた台 5 度近傍（純水での接触角）に 成功しました。 従来 50 度近傍が最大値でしたが、今回レシピ等の最適化等に伴い実現いたしました。 今後、6G 向け FCCL 銅箔等へのダイレクト接着にも寄与すると確信しております。
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【課題解決例】テフロン（PTFE）表面への超親水化処理 コンバーティングテクノロジーセミナー2019のご案内 日本表面真空学会 SP部会 第159回定例研究会(3/15)のご案内 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会 第159回定例研究会 テーマ「大気圧プラズマの最前線」 第6回次世代基盤技術産業展 TECH Biz EXPO 2016に出展中！