Symetrie ヘキサポッドステージ SOLANO
小型高精度ヘキサポッドステージ SOLANO
SOLANO は、最小 0.08 µm の分解能で精密な位置決めと校正用に設計された超コンパクトなヘキサポッドです。 SOLANO ヘキサポッドは、サイズ、分解能、精度、安定性の点で、要求の厳しい分野からの高まる要求に応えます。 その寸法は、高さ 104 mm と直径が 120 mm と小さいため、狭い環境への統合が可能です。SOLANOは縦置きと横置きの2つの向きで使用可能です。
基本情報
XYストローク±18mm Zストローク±6.5mm チルト<±10° 回転(ZΘ)±21° 繰り返し精度(XYZ)±0.25μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)±4μrad サイズφ120mm 高さ(Z中間地点)104mm 開口φ32mm 耐荷重5kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格情報
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納期
用途／実績例
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