Symetrie ヘキサポッド ステージ BREVA
高精度ヘキサポッドステージ BREVA
BREVA は、高い角度精度を提供するように特別に設計されています。 XYZ0.5 µm 、回転 2.5 µrad の分解能で、サンプル、プローブ、センサーなどの物体の角度位置決めが可能です。垂直、水平、逆さなど、オリエンテーションフリーで使用できます。
基本情報
XYストローク±75mm Zストローク±50mm チルト<±20° 回転(ZΘ)±22° 繰り返し精度(XYZ)±0.5μm 繰り返し精度(Rx, Ry, Rz)±2.5μrad サイズφ606mm 高さ(Z中間地点)350mm 開口φ250mm 耐荷重200kg ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格情報
お問い合わせ下さい。
納期
用途／実績例
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
