拡散照明素子『フライアイレンズ』
均一光として照射面へ出力！様々な素子組み合わせにより照射ムラの課題を解決！
『フライアイレンズ』は、同じ単レンズを縦横に配列した結像素子です。 ファイバーレーザーから出力された光を当製品を通すことにより多点光源と 同じ状況を作り出すことができ、均一光としての照射が可能となります。 また、個々のレンズを研磨加工した後に独自の技術で接合しております。 紫外領域でも高い透過率と耐久性のあるコーティングも対応可能です。 主に半導体露光装置の照明系に使用されております。 【加工仕様】 ■外形：～420mm ■エレメント数：～200 ■材質：BK7 石英ガラス ■レンズ形状：平凸レンズ、両凸レンズ、ドラムレンズ ■接着方法：フリット接着、UV接着 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様例】 ■コリメーション半角2.0° ■デクリネーション角±0.2° ■照度ばらつき10%以内 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
