プロセス分析装置

プロセス液自動濃度測定装置（PAT-2100型）は、半導体や液晶の製造プロセスに使用されるTMAH、ALエッチャント液、Cuエッチャント液、BHF、H2O2などを迅速、高精度に測定でき、製造プロセスの品質・歩留まりの向上に貢献致します。また、露点計（XDT、LPDT、XPDMシリーズ）は石油精製や化学プラント、クリーンルームなどで使用される各種ガス中の微量水分の測定ができます。