半導体分野向け比抵抗計『UPW UniCondセンサ』
±0.5％以下の測定精度で、水質管理の信頼性を向上。評価結果などの紹介資料進呈
メトラートレドの『UPW UniCondセンサ』は、大手半導体メーカーとの共同開発により 堅牢な構造と高度な温度補正機能を備えた比抵抗計です。 環境温度やプロセス温度の変化による測定値の変化や 信号ノイズを防ぎ、高い温度補償比抵抗精度を実現。 半導体分野における水質の正確な把握と歩留まりの向上に貢献します。 【特長】 ■±0.5％以下の測定精度を実現 ■ノイズと水質変化による干渉を区別し、高い信号安定性を実現 ■環境的要因による測定値の変化を防ぎ、正確な比抵抗の値を取得 ■識別、校正、メンテナンスデータの保存に対応 ※テスト評価の結果を確認できる「Case Study」を無料で進呈中。 カタログ、半導体分野向けの製品資料も＜PDFダウンロード＞よりご覧いただけます。
基本情報
【仕様】 精度：1-10 MΩ-cm: ≦ ±1％補正済み @ 25℃ 30-50 MΩ-cm: ≦ ±1％補正済み @ 25℃ 10-30 MΩ-cm : ≦ ±0.5％補正済み @ 25℃ 安定性：0.003 MΩ-cm標準偏差 (通常はリンス後) 温度センサ：Pt1000 RTD、IEC 60751、クラスA、NISTトレーサビリティ校正付き 温度精度：± 0.05℃ @ 25℃ ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
価格帯
納期
用途／実績例
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