半導体関連装置 「レジスト液加温塗布装置」
純水1/4RC 圧縮空気1/4RC！薬液をスプレー塗布する装置
「レジスト液加温塗布装置」は、半導体関連で使用されるシリコンウェハー・ガラス基盤等のワークを、任意のスピードで回転させながら、常温または加温した薬液をスプレー塗布する装置です。 お客様のご要望に、技術ノウハウと創造力で、機能性、操作性、安全性を追及した、価値のある製品をご提案いたします。 【材質】 ○本体 ：鋼板製 ○塗布部：塩ビ製 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
基本情報
【標準仕様】 ○ユ－ティリティ 純水1/4RC 圧縮空気1/4RC 排水1/4RC ○外形寸法 W800×H1500×D500 ○電源 AC100V 10A ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
価格情報
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納期
用途／実績例
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