膜厚測定システム SKOP
オーシャンオプティクス社分光器を使用した安価・簡易膜厚測定システム！
SKOP (Starter Kit for Optical thickness measurement) 光学式膜厚測定システムは、 光学薄膜の分光反射率を測定し、そのスペクトルを解析することで薄膜の厚みを測定するシステムです。 基板上の薄膜はエタロンとして作用し、反射スペクトルに干渉パターンを引き起こします。 パターンの正弦波ピークの間隔は、材質の屈折率と膜の厚みに相関があります。 SKOPでは干渉パターンを専用のソフトウェアで解析することにより、膜の厚みに換算します。
基本情報
測定可能膜厚範囲(nd換算)：1.5 . 70.0 μm (その他の膜厚に関してはご相談ください) 実測繰返し精度(標準偏差)： SiO2：0.001 (@ 厚み1.6 μm) Air：0.007 (@ 厚み10 μm)、0.01 (@ 厚み30 μm) Si：0.0003 (@ 厚み1.5 μm)、0.004 (@ 厚み9 μm) 測定スポット径：3.6 mm 詳しいスペックについては弊社担当までご連絡ください。
価格帯
納期
用途／実績例
Si、SiO2、SiN、SiC、LN、ガラス・レンズ上のコーティング膜、フィルム上のコーティング膜
